萬華化學集團電子材料有限公司韓翠婷獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉萬華化學集團電子材料有限公司申請的專利一種鎢化學機械拋光液及其應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115873507B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211556099.4，技術領域涉及：C23F3/06；該發明授權一種鎢化學機械拋光液及其應用是由韓翠婷;崔曉坤;王瑞芹;卞鵬程;衛旻嵩;王慶偉;徐賀;李國慶;王永東設計研發完成，并于2022-12-06向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種鎢化學機械拋光液及其應用在說明書摘要公布了：本發明公開了一種含親電親核雙功能有機硼化合物的鎢化學機械拋光液，該拋光液還包含經硅烷偶聯劑處理的研磨顆粒、催化劑、穩定劑、氧化劑、腐蝕抑制劑，余量為水。本發明的鎢化學機械拋光液使用的親電親核雙功能有機硼化合物可以增加體系穩定性，同時可以提高拋光后的表面質量。
本發明授權一種鎢化學機械拋光液及其應用在權利要求書中公布了：1.一種鎢化學機械拋光液，其特征在于，包括質量分數為0.1％～10％經硅烷偶聯劑處理的研磨顆粒、0.001％～0.1％催化劑、0.02％～0.5％穩定劑、0.5％～3.5％氧化劑、0.005％～0.5％腐蝕抑制劑和0.001％～0.1％親電親核雙功能有機硼化合物，余量為水； 所述親電親核雙功能有機硼化合物選自以下結構式I～式IV中的任一種；
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人萬華化學集團電子材料有限公司，其通訊地址為：264006 山東省煙臺市經濟技術開發區北京中路50號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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