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龍圖騰網(wǎng)獲悉天津華慧新科智能裝備有限公司申請(qǐng)的專利一種單片晶圓倒置雙面結(jié)構(gòu)顯影花籃獲國家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223377600U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-23發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422180666.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/30；該實(shí)用新型一種單片晶圓倒置雙面結(jié)構(gòu)顯影花籃是由曲迪;宋學(xué)穎;李宗宴設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-09-05向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種單片晶圓倒置雙面結(jié)構(gòu)顯影花籃在說明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了一種單片晶圓倒置雙面結(jié)構(gòu)顯影花籃，屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，包括把手和托盤；其特征在于：所述托盤由圓環(huán)結(jié)構(gòu)的上托盤和圓環(huán)結(jié)構(gòu)的下托盤組成；所述托盤的外側(cè)壁設(shè)置有與把手連接的凸起部；所述下托盤的內(nèi)徑等于上托盤的內(nèi)徑；在所述下托盤的下端口設(shè)置有向內(nèi)側(cè)延伸的環(huán)形支撐部；所述上托盤的下端面設(shè)置有與下托盤間隙配合的環(huán)形凸起；所述上托盤與下托盤為共軸關(guān)系；在所述下托盤的上開口側(cè)壁開設(shè)有避空槽。本實(shí)用新型利用倒置的雙孔顯影花籃結(jié)構(gòu)雙托盤中空結(jié)構(gòu)，在顯影過程中只有晶圓邊緣部分接觸花籃，從而保證晶圓無論正面還是背面都不會(huì)因?yàn)榕c花籃摩擦而導(dǎo)致的圖形出現(xiàn)損壞。

本實(shí)用新型一種單片晶圓倒置雙面結(jié)構(gòu)顯影花籃在權(quán)利要求書中公布了：1.一種單片晶圓倒置雙面結(jié)構(gòu)顯影花籃，包括把手3和托盤；其特征在于：所述托盤由圓環(huán)結(jié)構(gòu)的上托盤1和圓環(huán)結(jié)構(gòu)的下托盤2組成；所述托盤的外側(cè)壁設(shè)置有與把手3連接的凸起部；所述下托盤2的內(nèi)徑等于上托盤1的內(nèi)徑；在所述下托盤2的下端口設(shè)置有向內(nèi)側(cè)延伸的環(huán)形支撐部；所述上托盤1的下端面設(shè)置有與下托盤2間隙配合的環(huán)形凸起；所述上托盤1與下托盤2為共軸關(guān)系；在所述下托盤2的上開口側(cè)壁開設(shè)有避空槽21。

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