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龍圖騰網獲悉中國科學院微電子研究所申請的專利一種光學元件表面顆粒檢測及清潔裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119601503B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411691518.4，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種光學元件表面顆粒檢測及清潔裝置是由徐天偉;齊月靜;齊威;馬敬;武志鵬;孟璐璐設計研發完成，并于2024-11-25向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種光學元件表面顆粒檢測及清潔裝置在說明書摘要公布了：本發明提供了一種光學元件表面顆粒檢測及清潔裝置，包括低真空層流環境模塊、顆粒檢測模塊、顆粒清潔模塊和位移臺模塊，其中低真空層流環境模塊包括工作腔室和層流低真空控制單元；顆粒檢測模塊包括第一聚光鏡、第二聚光鏡、激光發射組件和激光反饋檢測組件，第一聚光鏡、第二聚光鏡和激光反饋檢測組件分別設置于工作腔室內；顆粒清潔模塊包括脈沖激光發射組件、擴束器和會聚透鏡，擴束器和會聚透鏡分別設置于工作腔室內；位移臺模塊設置于工作腔室內，位移臺模塊用于承載光學元件在工作腔室移動，以實現對光學元件上顆粒物的檢測及清潔。本發明能夠在半導體裝備內部實現光學元件的原位檢測及清潔，能夠避免清潔后出現再次污染的問題。

本發明授權一種光學元件表面顆粒檢測及清潔裝置在權利要求書中公布了：1.一種光學元件表面顆粒檢測及清潔裝置，其特征在于，包括： 低真空層流環境模塊，包括工作腔室和層流低真空控制單元，所述層流低真空控制單元用于在所述工作腔室內形成壓力穩定的層流低真空環境； 顆粒檢測模塊，包括第一聚光鏡、第二聚光鏡、激光發射組件和激光反饋檢測組件，所述第一聚光鏡、所述第二聚光鏡和所述激光反饋檢測組件分別設置于所述工作腔室內；所述第一聚光鏡具有第一會聚點，所述第二聚光鏡具第二會聚點，并且所述第一聚光鏡和所述第二聚光鏡具有一個重合的第三會聚點；所述激光發射組件用于向所述第一會聚點發射激光，當所述第一會聚點處的光學元件上存在顆粒物時，會產生散射光束，散射光束能夠依次經過所述第三會聚點和所述第二會聚點；所述激光反饋檢測組件能夠對散射光信號進行采集； 顆粒清潔模塊，包括脈沖激光發射組件、擴束器和會聚透鏡，所述擴束器和所述會聚透鏡分別設置于所述工作腔室內，所述脈沖激光發射組件用于向所述擴束器發射脈沖激光，脈沖激光依次經過所述擴束器和所述會聚透鏡，在所述會聚透鏡的焦點處產生沖擊波，對光學元件上的顆粒物進行清除； 位移臺模塊，設置于所述工作腔室內，所述位移臺模塊用于承載光學元件在所述工作腔室移動，以實現對光學元件上顆粒物的檢測及清潔。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院微電子研究所，其通訊地址為：100029 北京市朝陽區北土城西路3號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。