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龍圖騰網獲悉濟南東漢半導體設備有限公司申請的專利面向離子工藝系統(tǒng)的射頻等離子體綜合測試裝置及方法獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120152129B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202510305591.1，技術領域涉及：H05H1/00；該發(fā)明授權面向離子工藝系統(tǒng)的射頻等離子體綜合測試裝置及方法是由李濤;陳磊設計研發(fā)完成，并于2025-03-14向國家知識產權局提交的專利申請。

本面向離子工藝系統(tǒng)的射頻等離子體綜合測試裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種面向離子工藝系統(tǒng)的射頻等離子體綜合測試裝置及方法，涉及等離子體測試技術領域，該裝置包括主機和耦合探頭；耦合探頭放置在離子工藝系統(tǒng)的射頻傳輸線路上，用于根據(jù)電磁場耦合原理，通過電容或電感耦合方式對射頻能量進行耦合取樣，經耦合獲取電流、電壓信號，還用于感應獲取探頭內部的實時溫度數(shù)據(jù)；主機包括主體外殼及設置在主體外殼內的屏蔽框架，屏蔽框架內部設有數(shù)據(jù)處理與分析單元，其用于對接收的電壓、電流和溫度信號進行數(shù)據(jù)處理，計算生成射頻電源功率、射頻電源頻譜、匹配器與真空反應腔的阻抗及其他離子工藝系統(tǒng)參數(shù)值，同時輸出射頻傳輸中雜波捕捉、射頻傳輸諧波測試結果，以此實現(xiàn)對離子工藝系統(tǒng)的綜合測試。

本發(fā)明授權面向離子工藝系統(tǒng)的射頻等離子體綜合測試裝置及方法在權利要求書中公布了：1.一種面向離子工藝系統(tǒng)的射頻等離子體綜合測試裝置，其特征在于，包括主機和耦合探頭； 所述耦合探頭放置在離子工藝系統(tǒng)的射頻傳輸線路上，用于根據(jù)電磁場耦合原理，通過電容或電感耦合方式對射頻能量進行耦合取樣，經耦合獲取電流、電壓信號，以及用于感應獲取探頭內部的實時溫度數(shù)據(jù)； 所述主機包括主體外殼及設置在主體外殼內的屏蔽框架，屏蔽框架內部設有數(shù)據(jù)處理與分析單元，所述數(shù)據(jù)處理與分析單元用于對接收的電壓、電流和溫度信號進行數(shù)據(jù)處理，計算生成射頻電源功率、射頻電源頻譜、匹配器與真空反應腔的阻抗、等離子體真空反應腔中電弧捕捉以及離子工藝系統(tǒng)中駐波比、插入損耗、回波損耗、阻抗參數(shù)數(shù)據(jù)，同時輸出射頻傳輸中雜波捕捉、射頻傳輸諧波測試結果； 所述耦合探頭中集成有中心感應導體、溫度采集單元、電流采集單元、電壓采集單元和信號傳輸單元；其中： 所述中心感應導體用于根據(jù)電磁場耦合原理，通過電容或電感耦合方式對射頻能量進行耦合取樣； 所述電流采集單元和電壓采集單元均與中心感應導體電連接，用于根據(jù)中心感應導體耦合取樣結果獲得電流、電壓原始信號； 所述溫度采集單元為內置在耦合探頭中的溫度傳感器，用于實時采集探頭內部的溫度數(shù)據(jù)； 所述信號傳輸單元通過電壓、電流信號傳輸線和溫度信號傳輸線與主機電連接，用于將采集的電壓、電流、溫度信號傳輸至主機的數(shù)據(jù)處理與分析單元； 所述對接收的電壓、電流和溫度信號進行數(shù)據(jù)處理，包括： 對耦合獲取的電壓、電流信號進行幅值與相位的計算調整； 根據(jù)實時獲取的溫度數(shù)據(jù)，對調整后的電壓、電流信號進行溫度校正； 根據(jù)校正后的電壓、電流信號，同時計算得到射頻電源的功率、射頻電源的頻譜、匹配器和真空反應腔的阻抗、射頻傳輸中的雜波捕捉、射頻傳輸中的諧波測試、等離子體真空反應腔中電弧捕捉以及離子工藝系統(tǒng)中駐波比、插入損耗、回波損耗、阻抗參數(shù)數(shù)據(jù)。

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