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龍圖騰網獲悉齊魯工業大學(山東省科學院)申請的專利一種具有超高壓電系數的鋯鈦酸鉛膜材料及其制備方法和應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120249949B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510717850.1，技術領域涉及：C23C18/12；該發明授權一種具有超高壓電系數的鋯鈦酸鉛膜材料及其制備方法和應用是由朱漢飛;趙康康;羅紅鈺;李欣然;牛淵博;王海建設計研發完成，并于2025-05-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種具有超高壓電系數的鋯鈦酸鉛膜材料及其制備方法和應用在說明書摘要公布了：本發明公開了一種具有超高壓電系數的鋯鈦酸鉛膜材料及其制備方法和應用，屬于電子材料開發和薄膜材料技術領域。本發明采用溶膠?凝膠旋涂法以及通過控制退火次數，實現了鋯鈦酸鉛膜材料的制備。本發明提供的壓電膜材料可以直接沉積在金屬Pt涂覆的Si基體上，無需引入額外緩沖層或摻雜任何元素，退火時間短，制備過程簡單，所需全部原材料廉價易得，尤其具有高取向度、低矯頑電壓和優異的鐵電、壓電性能，適于制備大尺寸（2~4英寸）晶圓，在壓電微機電系統（MEMS）器件領域展現出巨大應用潛力。

本發明授權一種具有超高壓電系數的鋯鈦酸鉛膜材料及其制備方法和應用在權利要求書中公布了：1.一種具有超高壓電系數的鋯鈦酸鉛膜材料的制備方法，其特征在于，包括以下步驟： a在襯底上形成導電層，所述襯底為PtTiSiO2Si基體或PtTiSi基體； b通過溶膠-凝膠法制備鋯鈦酸鉛前驅體溶液，并采用旋涂法在所述導電層上形成前驅體膜； c對所述前驅體膜進行干燥和熱解處理； d重復步驟b和c以形成多層前驅體膜，然后進行一次快速熱退火處理，所述快速熱退火在氧氣氣氛中于550-750℃下進行，持續時間為3-10min；其中，重復步驟b和c以形成多層前驅體膜中，重復次數為5-8次； e重復步驟b至d直至達到所需的薄膜厚度，得到鋯鈦酸鉛膜材料； 步驟a）中，所述襯底為Si基底和在Si基底上依次負載的Ti層和底電極Pt層；所述Si基底為Si或帶有SiO2氧化層的Si； 步驟b）中，鋯鈦酸鉛前驅體溶液的配制方法：依據PbZr0.52Ti0.48O3化學計量比分別計算出合成其前驅體溶膠所需要的Pb、Zr、Ti三種原料的含量，將乙二醇甲醚和冰醋酸以1.1-1.3:1體積比均勻混合，然后加入Pb原料，攪拌至Pb原料完全溶解；然后加入乙酰丙酮攪拌均勻，接著依次加入Ti和Zr原料，充分攪拌混合均勻；最后加入乙二醇甲醚以調節前驅體溶液的濃度，室溫下攪拌，靜置陳化； 步驟b）中，旋涂法的工藝條件為：低轉速為600~1000rpm、旋涂時間為9~15s，高轉速為2000~5500rpm、旋涂時間為15~35s； 步驟c）中，干燥溫度為150~300℃、干燥時間為2~5min； 步驟c）中，熱解溫度為350~500℃，熱解時間為2~10min； 步驟e）中，重復步驟b至d直至達到所需的薄膜厚度中，以一次快速熱退火處理為一個周期，重復2~4個周期。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人齊魯工業大學(山東省科學院)，其通訊地址為：250000 山東省濟南市長清區大學路3501號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。