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龍圖騰網獲悉江蘇神州半導體科技有限公司申請的專利基于微波激勵的遠程等離子體密度均勻化調控方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120529474B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202511014218.7，技術領域涉及：H05H1/46；該發明授權基于微波激勵的遠程等離子體密度均勻化調控方法是由趙俊君;尹巧星設計研發完成，并于2025-07-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本基于微波激勵的遠程等離子體密度均勻化調控方法在說明書摘要公布了：本發明涉及等離子體密度調控技術領域，公開了基于微波激勵的遠程等離子體密度均勻化調控方法。該方法利用微波激勵設備，獲取目標區域場強探測信號數據與目標區間等離子體密度探測信號數據，確定目標區間密度分布。依據場強數據構建三維場強模型，結合密度分布確定微波調控裝置運行策略。微波調控裝置按策略獲取目標區間等離子體狀態圖像數據，分析密度均勻性，得到密度調控數據。該方法通過多維度數據采集、三維模型構建及圖像分析驅動的調控邏輯，解決遠程等離子體密度均勻性調控難題，適用于半導體制造、材料表面處理、化學氣相沉積等場景，可改善相關工藝因密度不均產生的質量問題。

本發明授權基于微波激勵的遠程等離子體密度均勻化調控方法在權利要求書中公布了：1.一種基于微波激勵的遠程等離子體密度均勻化調控方法，其特征在于，包括以下步驟： 基于微波激勵設備獲取目標區域的場強探測信號數據和目標區間的等離子體密度探測信號數據，根據所述等離子體密度探測信號數據確定所述目標區間的密度分布情況； 根據所述場強探測信號數據構建目標區域的三維場強模型，根據所述三維場強模型和密度分布情況確定微波調控裝置的運行策略； 所述微波調控裝置根據所述運行策略獲取目標區間的等離子體狀態圖像數據，根據所述圖像數據對目標區間的等離子體密度均勻性進行分析，得到密度調控數據； 所述基于微波激勵設備獲取目標區域的場強探測信號數據和目標區間的等離子體密度探測信號數據，根據所述等離子體密度探測信號數據確定所述目標區間的密度分布情況，具體為： 基于微波激勵設備獲取目標區域的場強探測數據和目標區域中目標區間的等離子體密度探測信號數據； 基于滑動窗口濾波算法對所述等離子體密度探測信號數據進行去噪增強操作，得到干擾抑制的等離子體密度探測信號數據，引入經驗模態分解算法，設定所述經驗模態分解算法參數的初始值； 根據所述經驗模態分解算法對所述干擾抑制的等離子體密度探測信號數據進行信號分解，得到m個本征模態分量； 對所述本征模態分量進行傅里葉變換，構建每個本征模態分量的頻域信號，根據所述頻域信號計算每個本征模態分量的幅值均值和頻率帶寬，將所述幅值均值和頻率帶寬構建頻域分布矩陣； 根據所述頻域分布矩陣計算所述微波激勵設備所發射的每個頻段的能量集中度、幅值方差、能量總量、幅值極值，得到密度探測特征譜； 根據所述等離子體密度探測信號數據獲取所述密度探測特征譜的采樣點位置信息，根據所述采樣點位置信息將每個采樣點的密度探測特征譜進行空間映射，構建三維密度探測特征譜； 根據所述三維密度探測特征譜確定每個采樣點的密度梯度，根據每個采樣點的密度梯度構建目標區間的密度分布等值線圖和密度梯度向量場，根據所述密度分布等值線圖和密度梯度向量場確定所述目標區間的密度分布情況。

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