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龍圖騰網獲悉名正(浙江)電子裝備有限公司;安徽名正電子裝備有限公司申請的專利一種基于拉力傳感器的晶圓研磨拋光調節控制系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120516574B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-23發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202511021588.3，技術領域涉及：B24B37/005；該發明授權一種基于拉力傳感器的晶圓研磨拋光調節控制系統是由鄭勇;魏永利;高敬帥設計研發完成，并于2025-07-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于拉力傳感器的晶圓研磨拋光調節控制系統在說明書摘要公布了：本發明涉及晶圓加工領域，公開了一種基于拉力傳感器的晶圓研磨拋光調節控制系統，包括加工壓力采集模塊，獲取重物重力并基于拉力傳感器實時采集電缸拉力，通過公式計算加工壓力，同時實時采集晶圓的研磨狀態參數；加工壓力穩定性分析模塊包含第一分析單元和第二分析單元：第一分析單元，計算加工壓力在預設監測周期內的累積變化量并與變化閾值比對，發出告警信號；第二分析單元將研磨狀態參數輸入研磨狀態模型分析研磨狀態值，反向評估研磨盤狀態；調節控制模塊基于第一分析單元調節電缸拉力，基于第二分析單元判斷是否更換研磨盤。本發明實現了加工壓力的精準監測與穩定性控制，并能有效評估研磨盤狀態，提升晶圓研磨拋光質量與效率。

本發明授權一種基于拉力傳感器的晶圓研磨拋光調節控制系統在權利要求書中公布了：1.一種基于拉力傳感器的晶圓研磨拋光調節控制系統，其特征在于，包括： 加工壓力采集模塊，獲取重物重力并基于拉力傳感器實時采集電缸拉力，通過公式計算加工壓力：加工壓力＝重物重力－電缸拉力；及實時采集晶圓的研磨狀態參數； 加工壓力穩定性分析模塊，包括： 第一分析單元，獲取加工壓力在預設監測周期內的累積變化量K1，將累積變化量K1與歷史數據分析確定的變化閾值K0比對，當K1≥K0時，發出告警信號； 第二分析單元，將晶圓的研磨狀態參數輸入研磨狀態模型進行分析，得到研磨狀態值；通過研磨狀態值對研磨盤的狀態進行反向評估； 所述研磨狀態參數包括：晶圓厚度在線測量值、研磨盤振動頻譜及拋光液流量； 所述研磨狀態模型的表達式為： ； 其中，為監測周期內晶圓厚度在線測量值的標準差，為監測周期內晶圓厚度在線測量值的均值，為研磨盤振動頻譜的均方根值，為設備空載基準振動值，為實時拋光液流量，為工藝設定最優流量，、分別為流量安全閾值的上下限，、為權重系數； 所述通過研磨狀態值對研磨盤狀態進行反向評估的過程包括： 獲取研磨盤初始壽命基準值L0和壽命衰減系數g；其中，L0基于歷史數據確定； 通過公式：計算得到研磨盤剩余壽命指數； 其中，為研磨狀態初始閾值，為研磨狀態失效閾值； 調節控制模塊，基于第一分析單元的告警信號對電缸拉力進行調節，基于第二分析單元的反向評估結果判斷研磨盤是否進行更換。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人名正(浙江)電子裝備有限公司;安徽名正電子裝備有限公司，其通訊地址為：314000 浙江省嘉興市秀洲區洪合鎮塘濮路455號4號樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。