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龍圖騰網獲悉英飛凌科技股份有限公司申請的專利用于靜電MEMS反射鏡的模式耦合檢測和阻尼方法以及使用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114636987B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111531624.2，技術領域涉及：G01S7/481；該發明授權用于靜電MEMS反射鏡的模式耦合檢測和阻尼方法以及使用是由D·布倫納;S·G·阿爾伯特;F·M·達勒;G·希特;R·施羅德;柳漢雄設計研發完成，并于2021-12-14向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于靜電MEMS反射鏡的模式耦合檢測和阻尼方法以及使用在說明書摘要公布了：本公開的各實施例涉及用于靜電MEMS反射鏡的模式耦合檢測和阻尼方法以及使用。一種掃描系統包括：微機電系統MEMS掃描結構，基于驅動信號配置有期望旋轉運動模式；多個梳狀驅動器，被配置為基于驅動信號根據期望旋轉運動模式來驅動MEMS掃描結構，每個梳狀驅動器包括轉子梳狀電極和定子梳狀電極，轉子梳狀電極和定子梳狀電極形成電容元件，電容元件的電容取決于MEMS掃描結構的偏轉角；驅動器，被配置為生成至少一個驅動信號；感測電路，選擇性地被耦合到多個梳狀驅動器的至少一子集以從子集接收感測信號，其中每個感測信號代表對應梳狀驅動器的電容；以及處理電路，被配置為基于感測信號來確定MEMS掃描結構在期望旋轉運動模式下的掃描方向。

本發明授權用于靜電MEMS反射鏡的模式耦合檢測和阻尼方法以及使用在權利要求書中公布了：1.一種掃描系統，包括： 微機電系統MEMS掃描結構，被配置為基于至少一個驅動信號以期望旋轉運動模式圍繞軸線旋轉； 多個梳狀驅動器，被配置為基于所述至少一個驅動信號根據所述期望旋轉運動模式圍繞所述軸線驅動所述MEMS掃描結構，其中每個梳狀驅動器包括轉子梳狀電極和定子梳狀電極，所述轉子梳狀電極和所述定子梳狀電極形成電容元件，所述電容元件的電容取決于所述MEMS掃描結構的偏轉角； 驅動器，被配置為生成所述至少一個驅動信號； 感測電路，選擇性地被耦合到所述多個梳狀驅動器的至少一子集以從所述子集接收感測信號，其中每個感測信號代表對應梳狀驅動器的電容； 處理電路，被配置為： 基于所述感測信號來確定所述MEMS掃描結構在所述期望旋轉運動模式下的寄生運動模式以及掃描方向；以及 系統控制器，被配置為： 在對阻尼所述寄生運動模式有效的定時處，使反作用力被施加到與所述寄生運動模式相對應的轉子梳狀電極或者與所述寄生運動模式相對應的定子梳狀電極中的一個或多個梳狀電極。

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