蘇州晨暉智能設備有限公司彭云祥獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)獲悉蘇州晨暉智能設備有限公司申請的專利一種極細線徑鎢絲線切割硅片210R規(guī)格的切割方法獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN120516860B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-09-16發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202511038493.2,技術領域涉及:B28D5/04;該發(fā)明授權一種極細線徑鎢絲線切割硅片210R規(guī)格的切割方法是由彭云祥;許堃;劉建平;胡小輝;羅金平;吳松設計研發(fā)完成,并于2025-07-28向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本一種極細線徑鎢絲線切割硅片210R規(guī)格的切割方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明提出一種極細線徑鎢絲線切割硅片210R規(guī)格的切割方法,采用線徑≤24μm的鎢絲線往復切割總深度219mm的硅棒,通過動態(tài)匹配送線回線周期與線速實現(xiàn)精準控制。初始階段線速在710mmin?2000mmin范圍內遞增且周期遞減;穩(wěn)定階段線速恒定2100?2300mmin且周期遞增;降速階段線速在2000mmin?1200mmin范圍內遞減且周期固定在1900?2800m,全程采用1400m大周期送線回線機制。該方法通過三階段參數(shù)優(yōu)化,有效解決極細鎢絲切割薄硅片時的紋路異常、線痕、崩邊、加切率及隱裂率超標問題。
本發(fā)明授權一種極細線徑鎢絲線切割硅片210R規(guī)格的切割方法在權利要求書中公布了:1.一種極細線徑鎢絲線切割硅片210R規(guī)格的切割方法,其特征在于,工作臺通過進給運動使硅棒逐步趨近于鎢絲線切割區(qū)域,并選用直徑不大于24μm的所述鎢絲線對硅棒實施往復切割,切割總深度為219mm;切割過程中,所述鎢絲線的送線回線周期大于1400m的大周期,所述送線回線周期為從進線端向切割區(qū)域輸送線材的單次送線量,與從出線端回收線材的單次回線量共同構成的單程循環(huán),其周期長度由單次送線量與單次回線量之和確定;切割過程包括以下階段: 初始切割階段:所述工作臺的進給位置為-1-50mm,所述鎢絲線線速在710-2000mmin范圍內逐步遞增,同時所述送線回線周期相應遞減; 穩(wěn)定切割階段:所述工作臺的進給位置為50-210mm,所述鎢絲線線速穩(wěn)定在2100-2300mmin范圍內,以固定速度運行;所述送線回線周期在1600-1900m的大周期范圍內逐步增加,相鄰切割階段的增幅不超過100m; 降速切割階段:所述工作臺的進給位置范圍為210-219mm,所述鎢絲線的線速在1200-2000mmin范圍內逐步降低,所述送線回線周期為1900-2800m的大周期。
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