朗姆研究公司巴斯卡爾·班達拉普獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利防止高深寬比結構的黏滯和/或修補高深寬比結構的蒸氣輸送頭獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112602186B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-16發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980055386.7，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權防止高深寬比結構的黏滯和/或修補高深寬比結構的蒸氣輸送頭是由巴斯卡爾·班達拉普;戴維·穆;卡爾-海因茨·霍恩沃特;布奇·伯尼;南森·拉夫多夫斯基;克里斯蒂安·普茲;司洪波;羅伯特·約翰遜;邁克爾·克萊姆;伯恩哈德·洛伊德爾設計研發完成，并于2019-08-21向國家知識產權局提交的專利申請。
本防止高深寬比結構的黏滯和/或修補高深寬比結構的蒸氣輸送頭在說明書摘要公布了：一種用于襯底的濕式處理的蒸氣輸送頭包括主體，該主體包括上表面、下表面、上充氣室和下充氣室。第一孔布置在所述主體的所述上表面上，并且與所述上充氣室流體連接，以供應經加熱的流體。第二孔布置在所述主體的所述上表面上，并且連接至所述上充氣室，以移除經加熱的流體。第三孔布置在所述主體的所述上表面上，且連接至所述下充氣室，以接收氣體混合物。穿過所述主體的所述下表面的多個通孔與所述下充氣室流體連通。
本發明授權防止高深寬比結構的黏滯和/或修補高深寬比結構的蒸氣輸送頭在權利要求書中公布了：1.一種用于襯底的濕式處理的蒸氣輸送頭，其包括： 主體，其包括上表面、下表面、上充氣室和下充氣室； 第一孔，其布置在所述主體的所述上表面上，并且與所述上充氣室流體連接，以供應經加熱的流體； 第二孔，其布置在所述主體的所述上表面上，并且連接至所述上充氣室，以移除經加熱的流體； 第三孔，其布置在所述主體的所述上表面上，且連接至所述下充氣室，以接收氣體混合物； 多個通孔，其穿過所述主體的所述下表面，并且與所述下充氣室流體連通；以及 檔板，所述檔板布置在所述第三孔與所述下充氣室之間在所述下充氣室內，其中所述檔板包括多個擋板部，以將所述氣體混合物分布在所述下充氣室中。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：奧地利菲拉赫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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