應用材料公司J·羅杰斯獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利電感耦合等離子體源的改進獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116053108B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310233275.9，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權電感耦合等離子體源的改進是由J·羅杰斯;J·普洛斯設計研發完成，并于2018-07-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本電感耦合等離子體源的改進在說明書摘要公布了：本文公開一種用于使用電感耦合等離子體源來處理基板的設備。電感耦合等離子體源利用功率源、屏蔽構件以及耦合到功率源的線圈。在某些實施例中，線圈與水平螺旋群組以及垂直延伸的螺旋群組布置在一起。根據某些實施例，屏蔽構件利用接地構件來用作法拉第屏蔽。本文的實施例減少了由基板處理系統中的電感耦合等離子體所產生的等離子體中的寄生損失以及不穩定性。
本發明授權電感耦合等離子體源的改進在權利要求書中公布了：1.一種用于處理基板的設備，包括： 頂板； 線圈，所述線圈包括內線圈和外線圈，其中所述外線圈設置在第一平面內，所述內線圈包括： 所述內線圈的第一區段，在所述第一平面內并且耦合至所述外線圈；以及 串聯耦合至所述第一區段的第二區段，其中所述第二區段以將所述第一區段延伸出所述第一平面并且在所述內線圈的內徑處終止的垂直布置來配置，并且所述第二區段由所述第一區段與所述外線圈分離；以及 耦合至所述頂板的內支柱和外支柱，其中所述內線圈由所述內支柱支撐并且所述外線圈由所述外支柱支撐，其中所述內支柱和所述外支柱從所述頂板延伸以支撐所述線圈遠離所述頂板。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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