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龍圖騰網獲悉朗姆研究公司申請的專利用于改善室匹配的混合流量計量獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112543992B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980052686.X，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權用于改善室匹配的混合流量計量是由埃萬蓋洛斯·T·斯皮羅普洛斯;皮施·阿加瓦爾;詹姆斯·雷昂;賽義德·侯賽因·哈希米加爾梅齊;伊克巴爾·謝里夫設計研發完成，并于2019-07-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于改善室匹配的混合流量計量在說明書摘要公布了：一種襯底處理系統的氣體輸送系統包含氣箱，氣箱包含質量流量控制器以控制來自氣體源的氣流。氣流路徑與所述氣箱流體連通?；旌狭髁坑嬃肯到y與所述氣流路徑流體連通，并且包含控制器，所述控制器被設置成：執行第一流量計量，以在由所述質量流量控制器中的至少一者所供應的氣體的期望流率小于預定流率時，基于在預定時段期間在所述氣箱和流量計量系統之間的所述氣流路徑中的氣體的差動質量來校準所述質量流量控制器中的所述至少一者。所述控制器還被設置成在所述期望流率大于所述預定流率時執行第二流量計量。

本發明授權用于改善室匹配的混合流量計量在權利要求書中公布了：1.一種用于襯底處理系統的氣體流量計量系統，包含： N個初級閥，其選擇性地使氣體分別從N個氣體源流動，其中N是整數； N個質量流量控制器，其分別連接至所述N個初級閥，以用于使N種氣體分別從所述N個氣體源流動； N個二級閥，其選擇性地使氣體分別從所述N個質量流量控制器流動； 氣流路徑，其將所述N個二級閥連接至遠離所述N個二級閥定位的流量計量系統，其中所述氣流路徑包含氣體管線；以及 控制器，其被設置成通過以下操作對來自所述N個質量流量控制器中的一者的在期望流率下的選定氣體執行第一流量計量： 排空所述氣流路徑； 測量所述氣流路徑中的初始壓強； 確定所述氣流路徑中的初始質量； 使所述選定氣體在預定時段期間以所述期望流率從所述N個質量流量控制器中的所述一者流動； 測量在所述氣流路徑中的最終壓強； 確定在所述氣流路徑中的最終質量；以及 基于所述初始質量、所述最終質量以及所述預定時段確定實際流率。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。