佳能株式會社大豆生田吉廣獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉佳能株式會社申請的專利載置臺裝置、光刻裝置以及物品的制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114326319B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111147421.3，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權載置臺裝置、光刻裝置以及物品的制造方法是由大豆生田吉廣設計研發完成，并于2021-09-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本載置臺裝置、光刻裝置以及物品的制造方法在說明書摘要公布了：本發明涉及載置臺裝置、光刻裝置以及物品的制造方法。提供有利于降低第1載置臺與第2載置臺產生干擾的可能性的技術。一種載置臺裝置，具備：第1載置臺，能夠移動；第2載置臺，能夠在所述第1載置臺之上移動；以及控制部，將所述第2載置臺相對于所述第1載置臺的傾斜量控制成目標傾斜量，在所述載置臺裝置中，所述控制部根據所述第1載置臺的移動區間來設定所述目標傾斜量而控制所述傾斜量。
本發明授權載置臺裝置、光刻裝置以及物品的制造方法在權利要求書中公布了：1.一種載置臺裝置，其特征在于，具備： 第1載置臺，能夠移動； 第2載置臺，能夠在所述第1載置臺之上移動；以及 控制部，將所述第2載置臺相對于所述第1載置臺的傾斜量控制成目標傾斜量， 所述控制部根據所述第1載置臺的移動狀態來設定所述目標傾斜量而控制所述傾斜量。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人佳能株式會社，其通訊地址為：日本東京；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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