深圳中科飛測科技股份有限公司陳魯獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳中科飛測科技股份有限公司申請的專利缺陷檢測方法、裝置、設備及計算機可讀存儲介質(zhì)獲國家發(fā)明授權專利權,本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予,授權公告號為:CN114332012B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉:該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為:202111635507.0,技術領域涉及:G06T7/00;該發(fā)明授權缺陷檢測方法、裝置、設備及計算機可讀存儲介質(zhì)是由陳魯;肖遙;佟異;張嵩設計研發(fā)完成,并于2021-12-29向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。
本缺陷檢測方法、裝置、設備及計算機可讀存儲介質(zhì)在說明書摘要公布了:本申請公開了缺陷檢測方法、裝置、設備及計算機可讀存儲介質(zhì),缺陷檢測設備獲取待測件的檢測圖像;確定檢測圖像的待測區(qū)域;對待測區(qū)域進行二值化處理,獲取二值圖像;確定二值圖像中邊緣區(qū)域,邊緣區(qū)域包括多個待測區(qū)域的白色像素點;沿第一方向或沿第二方向?qū)吘墔^(qū)域的待測像素點進行檢測;確定邊緣區(qū)域上每一列或每一行的特征點,當特征點的數(shù)量大于或等于預設數(shù)量時,確定特征點為待測件的缺陷。通過確定晶圓上待測區(qū)域的邊緣區(qū)域,并確定邊緣區(qū)域上的特征點,再根據(jù)特征點確定待測件的缺陷,能夠準確的通過特征點的位置確定待測件上的缺陷類型,提高對待測件的檢測準確率,避免由于檢測準確率低而進行復檢,提高待測件的檢測效率。
本發(fā)明授權缺陷檢測方法、裝置、設備及計算機可讀存儲介質(zhì)在權利要求書中公布了:1.一種缺陷檢測方法,其特征在于,所述缺陷檢測方法包括: 獲取待測件的檢測圖像; 確定所述檢測圖像的待測區(qū)域; 對所述待測區(qū)域進行二值化處理,獲取二值圖像; 確定所述二值圖像中所述待測區(qū)域的邊緣區(qū)域; 以所述邊緣區(qū)域的像素點為中心,以預設檢測長度為半徑,沿第一方向或沿第二方向?qū)λ鲞吘墔^(qū)域的待測像素點進行檢測; 確定所述邊緣區(qū)域上每一列或每一行的跳變點;其中,當所述二值圖像中任一像素點為白色像素點,且該像素點的上下左右方向上存在黑色像素點時,確定該像素點為所述跳變點; 當所述跳變點與所述邊緣區(qū)域的距離大于或等于預設長度時,確定所述跳變點為特征點,當所述特征點的數(shù)量大于或等于預設數(shù)量時,確定所述特征點為所述待測件的缺陷。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢嗳?a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" href="https://iptop.www.hzsmkbearing.com.cn/list?keyword=%E6%B7%B1%E5%9C%B3%E4%B8%AD%E7%A7%91%E9%A3%9E%E6%B5%8B%E7%A7%91%E6%8A%80%E8%82%A1%E4%BB%BD%E6%9C%89%E9%99%90%E5%85%AC%E5%8F%B8&temp=1">深圳中科飛測科技股份有限公司,其通訊地址為:518000 廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街道同勝社區(qū)上橫朗第四工業(yè)區(qū)2號101、201、301;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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