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          江蘇第三代半導(dǎo)體研究院有限公司閆其昂獲國家專利權(quán)

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          龍圖騰網(wǎng)獲悉江蘇第三代半導(dǎo)體研究院有限公司申請的專利復(fù)合Si/Al插入層結(jié)構(gòu)及其制備方法和應(yīng)用獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN119069589B 。

          龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202411187995.7,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H10H20/812;該發(fā)明授權(quán)復(fù)合Si/Al插入層結(jié)構(gòu)及其制備方法和應(yīng)用是由閆其昂;王國斌設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-08-27向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

          復(fù)合Si/Al插入層結(jié)構(gòu)及其制備方法和應(yīng)用在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種復(fù)合SiAl插入層結(jié)構(gòu)及其制備方法和應(yīng)用。復(fù)合SiAl插入層結(jié)構(gòu)包括:其包括:SiN膜層、AlN填充層和AlN膜層,所述AlN填充層間隔分布在所述SiN膜層內(nèi),所述AlN膜層層疊設(shè)置在所述SiN膜層、所述AlN填充層上;以及,所述SiN膜層內(nèi)還設(shè)置有多個A1N微結(jié)構(gòu),所述AlN膜層內(nèi)還設(shè)置有多個SiN微結(jié)構(gòu)。本發(fā)明克服了大尺寸Micro?LED外延量子阱生長均勻性差的問題,適用于大尺寸長波發(fā)射,極大地提高了Micro?LED外延片的亮度和發(fā)光效率。

          本發(fā)明授權(quán)復(fù)合Si/Al插入層結(jié)構(gòu)及其制備方法和應(yīng)用在權(quán)利要求書中公布了:1.一種復(fù)合SiAl插入層結(jié)構(gòu),設(shè)置在量子阱結(jié)構(gòu)的相鄰兩個壘層之間,其特征在于,所述復(fù)合SiAl插入層結(jié)構(gòu)包括:SiN膜層、AlN填充層和AlN膜層,所述AlN填充層間隔分布在所述SiN膜層內(nèi),所述AlN膜層層疊設(shè)置在所述SiN膜層、所述AlN填充層上; 以及,所述SiN膜層內(nèi)還設(shè)置有多個AlN微結(jié)構(gòu),所述AlN膜層內(nèi)還設(shè)置有多個SiN微結(jié)構(gòu)。

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