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          中國科學院微電子研究所馬敬獲國家專利權

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          龍圖騰網獲悉中國科學院微電子研究所申請的專利一種自參考干涉儀棱鏡光程差檢測系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119197302B

          龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411243782.1,技術領域涉及:G01B9/02055;該發明授權一種自參考干涉儀棱鏡光程差檢測系統是由馬敬;齊月靜;蘇佳妮;齊威設計研發完成,并于2024-09-05向國家知識產權局提交的專利申請。

          一種自參考干涉儀棱鏡光程差檢測系統在說明書摘要公布了:本發明提供了一種自參考干涉儀棱鏡光程差檢測系統,包括自參考干涉儀棱鏡、偏振分光棱鏡、第一反射鏡、第二反射鏡、分光棱鏡、第一半波片和第二半波片,所述偏振分光棱鏡和所述分光棱鏡均設置在所述自參考干涉儀棱鏡的下方,在所述偏振分光棱鏡的前方設有白光光源,所述第一反射鏡設置在所述偏振分光棱鏡的后方;在所述分光棱鏡的前方設有探測器,所述第二反射鏡設置在所述分光棱鏡的后方;所述第一半波片設置在所述偏振分光棱鏡與所述自參考干涉儀棱鏡之間的光路上,所述第二半波片設置在所述偏振分光棱鏡與所述第一反射鏡之間的光路上。本發明提供的自參考干涉儀棱鏡光程差檢測系統,能夠實現對自參考干涉儀棱鏡光程差的精確測量。

          本發明授權一種自參考干涉儀棱鏡光程差檢測系統在權利要求書中公布了:1.一種自參考干涉儀棱鏡光程差檢測系統,其特征在于,包括自參考干涉儀棱鏡、偏振分光棱鏡、第一反射鏡、第二反射鏡、分光棱鏡、第一半波片和第二半波片,所述偏振分光棱鏡和所述分光棱鏡均設置在所述自參考干涉儀棱鏡的下方,在所述偏振分光棱鏡的前方設有白光光源,所述第一反射鏡設置在所述偏振分光棱鏡的后方;在所述分光棱鏡的前方設有探測器,所述第二反射鏡設置在所述分光棱鏡的后方;所述第一半波片設置在所述偏振分光棱鏡與所述自參考干涉儀棱鏡之間的光路上,所述第二半波片設置在所述偏振分光棱鏡與所述第一反射鏡之間的光路上; 所述偏振分光棱鏡用于將所述白光光源發出的光分成第一偏振光和第二偏振光,所述第一偏振光經過所述第一半波片后從所述自參考干涉儀棱鏡的入射面垂直射入,所述第二偏振光經過所述第二半波片后依次通過所述第一反射鏡和所述第二反射鏡進行反射,所述第二反射鏡的出射光線和所述自參考干涉儀棱鏡的出射光線分別射入所述分光棱鏡,并分別經過所述分光棱鏡透射和反射后到達探測器。

          如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中國科學院微電子研究所,其通訊地址為:100029 北京市朝陽區北土城西路3號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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