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龍圖騰網(wǎng)獲悉邁睿捷(南京)半導體科技有限公司申請的專利一種新型刻蝕靜電吸盤、溫度自適應控制裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119943738B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202510119213.4，技術領域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)一種新型刻蝕靜電吸盤、溫度自適應控制裝置及方法是由原凡彬;金天明;何健;劉坤;袁亮設計研發(fā)完成，并于2025-01-24向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種新型刻蝕靜電吸盤、溫度自適應控制裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導體技術領域，解決了傳統(tǒng)靜電吸盤無法適用于復雜的刻蝕工藝環(huán)境，同時難以精確控制靜電吸盤表面各處溫度的技術問題，尤其涉及一種新型刻蝕靜電吸盤、溫度自適應控制裝置及方法，包括劃分區(qū)域、獲取實時的溫度數(shù)據(jù)、建立初始數(shù)學模型、優(yōu)化初始數(shù)學模型、計算目標流速以及循環(huán)時間、反饋至冷卻系統(tǒng)實現(xiàn)自適應控制。本發(fā)明能夠在復雜的刻蝕工藝環(huán)境下，更加精確地控制冷卻介質(zhì)的流速，實現(xiàn)對靜電吸盤溫度的高效、穩(wěn)定自適應控制，提高半導體刻蝕工藝的質(zhì)量和可靠性，減少因溫度波動導致的晶圓缺陷，為半導體制造產(chǎn)業(yè)提供了一種先進的溫度控制技術解決方案。

本發(fā)明授權(quán)一種新型刻蝕靜電吸盤、溫度自適應控制裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種溫度自適應控制方法，其特征在于，該方法包括以下步驟： S1、將靜電吸盤的基臺以中軸線為起點向其外側(cè)邊緣等區(qū)域劃分至少三個區(qū)域，形成等面積的內(nèi)層區(qū)、中層區(qū)以及外層區(qū)，且內(nèi)層區(qū)、中層區(qū)以及外層區(qū)中分別布設獨立的溫度傳感器以及冷卻管道； S2、獲取內(nèi)層區(qū)、中層區(qū)和外層區(qū)實時的溫度數(shù)據(jù)，并進行預處理得到無噪聲的溫度數(shù)據(jù)； S3、建立用以反映在半導體刻蝕過程中冷卻介質(zhì)流速v與溫度差ΔT之間近似關系的初始數(shù)學模型； S4、基于在單位時間Δt內(nèi)，液體放出熱量QΔt等于對流換熱帶走熱量ΔQ對初始數(shù)學模型進行優(yōu)化，用以反映在半導體刻蝕過程中冷卻介質(zhì)流速v與溫度差ΔT之間的精確關系；具體過程包括以下步驟： S41、建立單位時間Δt內(nèi)液體放出熱量QΔt等于對流換熱帶走熱量ΔQ的初始方程，即： QΔt＝ΔQ Q＝hAΔT 式中，g為熱傳遞系數(shù)；A為冷卻管道與基臺接觸的熱交換面積； S42、計算單位時間Δt內(nèi)冷卻介質(zhì)對流換熱帶走的熱量ΔQ，計算公式為： 式中，cp為冷卻介質(zhì)的比熱容；m為冷卻介質(zhì)的質(zhì)量；t為冷卻介質(zhì)的循環(huán)時間； S43、將熱量ΔQ帶入初始方程中得到精確方程，即： S44、根據(jù)精確方程確定在層流狀態(tài)下，半導體刻蝕過程中冷卻介質(zhì)流速v與溫度差ΔT之間的精確關系； S45、根據(jù)精確方程確定在湍流狀態(tài)下，半導體刻蝕過程中冷卻介質(zhì)流速v與溫度差ΔT之間的精確關系； S5、在精確關系下，根據(jù)實時獲取的溫度數(shù)據(jù)計算冷卻介質(zhì)在冷卻管道中循環(huán)，使內(nèi)層區(qū)、中層區(qū)和外層區(qū)之間溫度差ΔT趨于接近的目標流速v`以及循環(huán)時間t； S6、將目標流速v`和循環(huán)時間t反饋至冷卻系統(tǒng)用于調(diào)節(jié)輸出功率實現(xiàn)自適應控制。

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