中國科學院近代物理研究所李長春獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國科學院近代物理研究所申請的專利一種緊湊型復合真空泵獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119982456B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510166847.5,技術領域涉及:F04B41/06;該發明授權一種緊湊型復合真空泵是由李長春;蒙峻;楊偉順;魏寧斐;姚鵬;羅成;藺曉建;萬亞鵬;馬向利;劉建龍;焦紀強;柴振;謝文君;朱小榮設計研發完成,并于2025-02-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種緊湊型復合真空泵在說明書摘要公布了:本發明涉及粒子加速器技術領域,尤其涉及一種緊湊型復合真空泵,本發明實施例提供的緊湊型復合真空泵包括濺射離子泵和鈦絲組件,濺射離子泵包括泵殼,具有空腔及與空腔連通的第一接口和第二接口,第一接口用于連接待抽真空腔體;鈦絲組件與泵殼的第二接口連接,鈦絲組件的鈦絲通過升華在空腔內沉積形成具有吸附作用的第一鈦膜,本發明實施例提供的緊湊型復合真空泵在保證可以獲得極高真空的同時有效減少對安裝空間的占用,方便其他元件的排布。
本發明授權一種緊湊型復合真空泵在權利要求書中公布了:1.一種緊湊型復合真空泵,其特征在于,包括: 濺射離子泵(1),包括泵殼(11),所述泵殼(11)具有空腔及與所述空腔連通的第一接口(111)和第二接口(112),所述第一接口(111)用于連接待抽真空腔體; 鈦絲組件(2),與所述泵殼(11)的所述第二接口(112)連接,所述鈦絲組件(2)的鈦絲(23)通過升華在所述空腔內沉積形成具有吸附作用的第一鈦膜; 所述濺射離子泵(1)還包括: 高壓頭(12),設置于所述泵殼(11)上,所述高壓頭(12)電連接控制器,用于為所述濺射離子泵(1)提供高壓; 磁鐵組件(13),設置于所述空腔內,用于在所述空腔內形成維持潘寧放電的磁場,以使氣體分子與旋轉的電子云碰撞生成離子; 陽極組件(14)和陰極鈦板(15),設置于所述空腔內,并電連接所述高壓頭(12),所述陽極組件(14)和所述陰極鈦板(15)之間形成電場,以使所述離子轟擊在所述陰極鈦板(15)上,并產生濺射鈦原子,所述濺射鈦原子在所述陽極組件(14)和所述陰極鈦板(15)上形成具有吸附作用的第二鈦膜; 所述泵殼(11)的空腔內設置有隔板(16),所述隔板(16)將所述空腔分隔成第一腔室(113)和第二腔室(114),所述隔板(16)上設置有連通所述第一腔室(113)和所述第二腔室(114)的連通口(161);所述鈦絲組件(2)設置于所述第一腔室(113)內,用于在所述第一腔室(113)內形成所述第一鈦膜;所述磁鐵組件(13)、陽極組件(14)和所述陰極鈦板(15)設置于所述第二腔室(114)內。
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