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龍圖騰網獲悉埃克斯控股(北京)有限公司申請的專利半導體制造智能預測閉環控制方法、系統以及可讀存儲介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120388907B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510887455.8，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權半導體制造智能預測閉環控制方法、系統以及可讀存儲介質是由徐曉順;龔慶鵬;傅慧初;李倓;宋泰然;劉斌設計研發完成，并于2025-06-30向國家知識產權局提交的專利申請。

本半導體制造智能預測閉環控制方法、系統以及可讀存儲介質在說明書摘要公布了：本發明公開了一種半導體制造智能預測閉環控制方法、系統以及可讀存儲介質，所述方法包括以下步驟：獲取機臺實時FDC數據，將所述FDC數據輸入至預設的虛擬量測模型，輸出得到在制品的第一Inline量測參數；將第三Inline量測參數輸入至預設的Inline?Wat預測模型，輸出得到在制品的預測Wat值；當判斷所述預測Wat值超出異常控制范圍時，對所述制品當站制程及后站制程的Inline量測參數進行修正。本發明半導體制造智能預測閉環控制方法、系統及可讀存儲介質實現了半導體制造過程的高精度預測、實時監控及工藝參數自動化修正，提升了預測精度與可靠性，保持了高效預測能力。

本發明授權半導體制造智能預測閉環控制方法、系統以及可讀存儲介質在權利要求書中公布了：1.一種半導體制造智能預測閉環控制方法，其特征在于，所述方法包括以下步驟： 獲取機臺實時FDC數據，將所述FDC數據輸入至預設的虛擬量測模型，輸出得到在制品的第一Inline量測參數，所述第一Inline量測參數為未量測的Inline量測參數的預測值； 將第三Inline量測參數輸入至預設的Inline-Wat預測模型，輸出得到在制品的預測Wat值，所述第三Inline量測參數為第一Inline量測參數及第二Inline量測參數之和，所述第二Inline量測參數為已量測的Inline量測參數； 當判斷所述預測Wat值超出異常控制范圍時，對所述制品當站制程及后站制程的Inline量測參數進行修正，使得修正后Inline量測參數經所述Inline-Wat預測模型輸出得到的預測Wat值未超出異常控制范圍； 所述獲取機臺實時FDC數據，將所述FDC數據輸入至預設的虛擬量測模型，輸出得到在制品的第一Inline量測參數的步驟包括： 獲取機臺歷史數據，所述歷史數據包括生產設備FDC數據及第二Inline量測參數，并對所述歷史數據進行預處理，所述第二Inline量測參數為已量測的Inline量測參數； 構建虛擬量測模型，根據預處理后的歷史數據對所述虛擬量測模型進行訓練優化； 獲取機臺實時FDC數據，將所述FDC數據輸入至優化后的虛擬量測模型，輸出得到在制品的第一Inline量測參數； 所述對所述歷史數據進行預處理的步驟包括：判斷所述歷史數據內的各數據點是否超出預設目標范圍，若是，則去除該數據點；若否，則保留該數據點。

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