無錫晶名光電科技有限公司程鵬獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉無錫晶名光電科技有限公司申請的專利基于圖像處理的晶體表面缺陷檢測方法及系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120510158B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-12發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202511008927.4,技術領域涉及:G06T7/00;該發明授權基于圖像處理的晶體表面缺陷檢測方法及系統是由程鵬設計研發完成,并于2025-07-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于圖像處理的晶體表面缺陷檢測方法及系統在說明書摘要公布了:本發明涉及晶體圖像檢測技術領域,具體涉及一種基于圖像處理的晶體表面缺陷檢測方法及系統。本發明首先在晶體訓練圖像中,綜合所有晶體分塊圖像的缺陷綜合形態度量,獲取晶體訓練圖像的整體缺陷斑點程度;根據每個晶體訓練圖像的整體缺陷斑點程度,對晶體訓練圖像進行圖像增強,獲取增強后的晶體訓練圖像;利用訓練后的神經網絡模型,對晶體待測圖像進行缺陷檢測。本發明通過充分考慮到晶體缺陷程度,對晶體訓練圖像進行合理增強,對神經網絡模型進行有效訓練,提高訓練后的神經網絡模型識別晶體表面缺陷的準確性。
本發明授權基于圖像處理的晶體表面缺陷檢測方法及系統在權利要求書中公布了:1.一種基于圖像處理的晶體表面缺陷檢測方法,其特征在于,包括: 獲取晶體待測圖像以及各個晶體訓練圖像; 獲取晶體訓練圖像對應的所有晶體分塊圖像;從晶體分塊圖像中,識別出晶體分塊圖像中的疑似晶體缺陷區域;在晶體分塊圖像中,根據所有疑似晶體缺陷區域的聚集情況以及形態情況,獲取晶體分塊圖像的缺陷綜合形態度量,包括:在晶體分塊圖像中,將每兩個疑似晶體缺陷區域對應幾何中心點的歐氏距離,作為每兩個疑似晶體缺陷區域的距離度量值;基于迭代自組織聚類法,根據每兩個疑似晶體缺陷區域的距離度量值,對在晶體分塊圖像中所有疑似晶體缺陷區域進行聚類,獲取晶體分塊圖像中各個疑似缺陷類簇;將疑似缺陷類簇的所有疑似晶體缺陷區域的總數量,作為疑似缺陷類簇的第一缺陷參數;在疑似缺陷類簇中,計算每兩個疑似缺陷類簇對應幾何中心點的歐氏距離,將所有歐氏距離的均值,作為疑似缺陷類簇的第二缺陷參數;計算疑似缺陷類簇的第一缺陷參數與第二缺陷參數的乘積,得到疑似缺陷類簇的第三缺陷參數;在晶體分塊圖像中,計算所有疑似缺陷類簇的第三缺陷參數的均值,得到晶體分塊圖像中的缺陷排布指標;在晶體分塊圖像中,根據所有疑似晶體缺陷區域的灰度特征以及形態特征,獲取晶體分塊圖像中的缺陷形態指標;綜合晶體分塊圖像中的缺陷排布指標以及缺陷形態指標,獲取晶體分塊圖像中的缺陷綜合形態度量; 在晶體訓練圖像中,綜合所有晶體分塊圖像的缺陷綜合形態度量,獲取晶體訓練圖像的整體缺陷斑點程度;根據每個晶體訓練圖像的整體缺陷斑點程度,對每個晶體訓練圖像進行圖像增強,獲取每個晶體訓練圖像對應增強后的晶體訓練圖像;基于所有增強后的晶體訓練圖像,訓練神經網絡模型,獲取訓練后的神經網絡模型;利用訓練后的神經網絡模型,對晶體待測圖像進行缺陷檢測。
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