信越化學(xué)工業(yè)株式會社;高知縣公立大學(xué)法人橋上洋獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉信越化學(xué)工業(yè)株式會社;高知縣公立大學(xué)法人申請的專利成膜用摻雜原料溶液的制備方法、層疊體的制造方法、成膜用摻雜原料溶液及半導(dǎo)體膜獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN115777029B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202180045862.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:C23C16/40;該發(fā)明授權(quán)成膜用摻雜原料溶液的制備方法、層疊體的制造方法、成膜用摻雜原料溶液及半導(dǎo)體膜是由橋上洋;渡部武紀;坂爪崇寬;川原村敏幸;鄧太江;安岡龍哉設(shè)計研發(fā)完成,并于2021-06-07向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本成膜用摻雜原料溶液的制備方法、層疊體的制造方法、成膜用摻雜原料溶液及半導(dǎo)體膜在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及一種成膜用摻雜原料溶液的制備方法,其特征在于,其包含將溶質(zhì)不與其他溶劑混合而是首先與第一溶劑混合,從而以與成膜原料另行制備的方式制備摻雜劑前驅(qū)體溶液的步驟,其中,所述溶質(zhì)包含含有鹵素的有機摻雜劑化合物或摻雜劑的鹵化物,所述制備方法使用酸性溶劑作為所述第一溶劑。由此,可提供一種能夠穩(wěn)定地形成具有優(yōu)異的電氣特性的高品質(zhì)薄膜的成膜用摻雜原料溶液的制備方法。
本發(fā)明授權(quán)成膜用摻雜原料溶液的制備方法、層疊體的制造方法、成膜用摻雜原料溶液及半導(dǎo)體膜在權(quán)利要求書中公布了:1.一種層疊體的制造方法,其特征在于,其包含: 制備成膜用摻雜原料溶液的步驟,其包含將溶質(zhì)不與其他溶劑混合而是首先與第一溶劑混合,從而以與成膜原料另行制備的方式制備摻雜劑前驅(qū)體溶液的步驟,其中,所述溶質(zhì)包含含有鹵素的有機摻雜劑化合物或摻雜劑的鹵化物,其中,使用pH為1以下的溶劑作為所述第一溶劑,使用含有鹽酸、氫溴酸、氫碘酸、硝酸、硫酸、乙酸或甲酸的溶劑作為所述第一溶劑; 制備含有膜前驅(qū)體的成膜原料溶液的步驟; 對基板進行加熱的步驟; 將所述成膜用摻雜原料溶液及所述成膜原料溶液霧化的步驟; 利用載氣將所述霧化后的成膜用摻雜原料溶液與所述霧化后的成膜原料溶液供給于所述加熱后的基板并進行成膜的步驟。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人信越化學(xué)工業(yè)株式會社;高知縣公立大學(xué)法人,其通訊地址為:日本東京都;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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