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龍圖騰網獲悉吉林華微電子股份有限公司申請的專利六英寸硅片氣動倒舟器獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115910875B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110921632.1，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權六英寸硅片氣動倒舟器是由燕超;李偉;潘笑星;劉博宇設計研發完成，并于2021-08-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本六英寸硅片氣動倒舟器在說明書摘要公布了：本發明公開了六英寸硅片氣動倒舟器，包括機架、前機殼、后機殼、夾持機構、舉升機構、倒片器座、操作臺、控制按鈕，其中前機殼與后機殼均環繞包裹于機架的外周并與其固定連接，操作臺包括操作臺座與操作臺面，操作臺座為長方形平板且其頂面固定連接有操作臺面，操作臺面的一端滑動連接有倒片器座，夾持機構包括氣缸一、氣缸二、帶齒片托一組、帶齒片托二組、倒片器夾具、氣缸架、滑桿組，舉升機構包括升降氣缸、支臂組、導向桿、導向套、連板、倒片器呈片齒，所述支臂組、導向桿、導向套、連板、倒片器呈片齒均位于前機殼內，升降氣缸位于后機殼內，本發明能自動將硅片在片筐于石英片舟之間倒換，降低操作員工的勞動強度，提高生產效率。

本發明授權六英寸硅片氣動倒舟器在權利要求書中公布了：1.六英寸硅片氣動倒舟器，其特征在于，包括機架、前機殼、后機殼、夾持機構、舉升機構、倒片器座、操作臺、控制按鈕，所述前機殼與后機殼均環繞包裹于機架的外周并與其固定連接，且后機殼的高度高于前機殼的高度，所述前機殼的頂面與操作臺固定連接，所述操作臺包括操作臺座與操作臺面，所述操作臺座為長方形平板且其頂面固定連接有操作臺面，所述操作臺面的一端滑動連接有倒片器座，所述夾持機構包括氣缸一、氣缸二、帶齒片托一組、帶齒片托二組、倒片器夾具、氣缸架、滑桿組，所述氣缸一、氣缸二、氣缸架、滑桿組均位于后機殼內，所述滑桿組包括兩根平行并固定連接于機架上的滑桿，每根所述滑桿的兩端各貫穿并滑動連接有一個氣缸架，每兩個同一高度的所述氣缸架為一組，所述氣缸一與氣缸二的首尾兩端分別與一組的氣缸架固定連接，所述帶齒片托一組包括兩個帶齒片托一，每個帶齒片托一的側面均固定連接于與其相對應的倒片器夾具的內側，所述倒片器夾具的端部與相對應的氣缸架固定連接，所述帶齒片托二組包括兩個帶齒片托二，每個帶齒片托二的側面均固定連接于與其相對應的倒片器夾具的內側，所述帶齒片托一位于帶齒片托二的正上方，所述后機殼的前面板的上部設有相平行的方孔，所述倒片器夾具每兩個為一組從方孔內伸出，并將帶齒片托一、帶齒片托二露出前面板外，所述舉升機構包括升降氣缸、支臂組、導向桿、導向套、連板、倒片器呈片齒，所述支臂組、導向桿、導向套、連板、倒片器呈片齒均位于前機殼內，所述升降氣缸位于后機殼內，所述支臂組包括兩個支臂，所述兩個支臂的底端分別固定連接于連板的兩側，所述每個支臂的頂端依次貫穿操作臺座、操作臺面，且均固定連接有一個倒片器呈片齒，所述導向桿豎直位于機架的下部且其兩端均與機架固定連接，所述升降氣缸豎直固定連接于機架上，且其活塞桿端與連板固定連接，所述導向套固定連接于連板上且位于升降氣缸活塞桿端的一側，所述導向桿貫穿導向套并與其滑動連接，所述控制按鈕包括安裝于前機殼上的開始按鈕、狀態旋鈕、暫停按鈕、功能鈕。

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