上海微電子裝備(集團)股份有限公司趙仁潔獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海微電子裝備(集團)股份有限公司申請的專利一種隔熱結構及晶圓加熱裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115891300B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111157150.X，技術領域涉及：B32B3/12；該發明授權一種隔熱結構及晶圓加熱裝置是由趙仁潔設計研發完成，并于2021-09-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種隔熱結構及晶圓加熱裝置在說明書摘要公布了：本發明公開了一種隔熱結構及晶圓加熱裝置，其屬于半導體技術領域，隔熱結構包括網格結構以及設置于所述網格結構內部的隔熱層，所述網格結構的頂面能夠放置物品，所述網格結構沿熱源傳導方向的投影全部位于所述隔熱層所覆蓋的范圍內，所述網格結構與所述隔熱層通過3D打印一體成型。晶圓加熱裝置包括如上所述的隔熱結構。網格結構直接與物品接觸，能夠降低熱傳導，隔熱層能夠起到阻擋空氣對流和熱輻射導致的傳熱，因此提升了隔熱效果。網格結構能夠減小隔熱結構的重量，隔熱層起到增加強度的作用，網格結構與隔熱層配合，減小變形，延長使用壽命。
本發明授權一種隔熱結構及晶圓加熱裝置在權利要求書中公布了：1.一種晶圓加熱裝置，其特征在于，包括隔熱結構，所述隔熱結構包括網格結構（10）以及設置于所述網格結構（10）內部的隔熱層（20），所述網格結構（10）的頂面（101）用于放置物品，所述網格結構（10）沿熱源傳導方向的投影全部位于所述隔熱層（20）所覆蓋的范圍內，所述網格結構（10）與所述隔熱層（20）通過3D打印一體成型。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海微電子裝備(集團)股份有限公司，其通訊地址為：201203 上海市浦東新區中國（上海）自由貿易試驗區張東路1525號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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