上海至純潔凈系統科技股份有限公司;江蘇啟微半導體設備有限公司陳蕖獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海至純潔凈系統科技股份有限公司;江蘇啟微半導體設備有限公司申請的專利一種晶圓盒的定位鎖止機構獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223321249U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202420651668.1，技術領域涉及：H01L21/68；該實用新型一種晶圓盒的定位鎖止機構是由陳蕖;徐銘;屠國強;劉大威設計研發完成，并于2024-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓盒的定位鎖止機構在說明書摘要公布了：本實用新型涉及晶圓加工技術領域，具體涉及一種晶圓盒定位鎖止機構，包括：底板，底板上分布有多個定位銷，定位銷與外部的晶圓盒的底部的卡槽相互匹配；多底板的下方設置有鎖定機構，定位機構包括一個鎖定卡扣，鎖定卡扣與晶圓盒的底部的鎖定口相互匹配；鎖定卡扣自底板下方穿過讓位孔以接觸鎖定口，并鎖定晶圓盒。有益效果在于：當晶圓盒被外部的機械臂、工裝等放置到底板上時，可通過插入定位銷來實現自動對位調整過程，并通過底部的鎖定卡扣來實現對晶圓盒的鎖定，隨后可取放晶圓。上述過程不需要引入機械臂進行調節控制，且僅需要在原有的工藝設備上對用于承托晶圓盒的底板進行替換即可使用，降低了使用成本。
本實用新型一種晶圓盒的定位鎖止機構在權利要求書中公布了：1.一種晶圓盒定位鎖止機構，其特征在于，包括： 定位單元，包括底板及設置在所述底板上的多個定位銷，所述定位銷與晶圓盒的底部的卡槽相互匹配，以定位所述晶圓盒； 鎖止單元，包括設置在所述底板下方的制動裝置及鎖定卡扣，所述制動裝置帶動所述鎖定卡扣穿過所述底板的讓位孔以接觸晶圓盒的鎖定口，以鎖定所述晶圓盒。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海至純潔凈系統科技股份有限公司;江蘇啟微半導體設備有限公司，其通訊地址為：200241 上海市閔行區紫海路170號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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