買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉株式會社斯庫林集團(tuán)申請的專利基板處理裝置及基板處理方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN118818909B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-09發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202410454999.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F7/20；該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及基板處理方法是由荒木隆道;三林武;上林誠設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-04-16向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本基板處理裝置及基板處理方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種能夠減少基板的搬運(yùn)進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)的基板處理裝置和基板處理方法。在將對基板進(jìn)行曝光處理的前工序的處理的前處理部和進(jìn)行后工序的處理的后處理部與兩臺曝光裝置連接的接口部，配置有復(fù)數(shù)個搬運(yùn)機(jī)械手和復(fù)數(shù)個模塊。接口部有向一臺曝光裝置搬運(yùn)基板的第一搬運(yùn)路徑和向另一臺曝光裝置搬運(yùn)基板的第二搬運(yùn)路徑。使基板在作為相對短的搬運(yùn)路徑的第一搬運(yùn)路徑所包括的第一調(diào)溫器中的處理時間僅延長規(guī)定的延遲時間。能夠使沿著第一搬運(yùn)路徑搬運(yùn)基板所需的時間與沿著第二搬運(yùn)路徑搬運(yùn)基板所需的時間大體一致，能夠減少基板在第一搬運(yùn)路徑中的搬運(yùn)進(jìn)入待機(jī)狀態(tài)。

本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及基板處理方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，對一批次所包括的復(fù)數(shù)張基板依次進(jìn)行曝光處理的前工序的處理，并進(jìn)行曝光處理的后工序的處理，其中， 所述基板處理裝置具有： 前處理部，執(zhí)行所述前工序的處理； 后處理部，執(zhí)行所述后工序的處理； 接口部，將所述前處理部和所述后處理部與第一曝光裝置和第二曝光裝置連接，具有搬運(yùn)基板的復(fù)數(shù)個搬運(yùn)機(jī)械手和復(fù)數(shù)個模塊；以及 控制部，控制所述復(fù)數(shù)個搬運(yùn)機(jī)械手和所述復(fù)數(shù)個模塊， 從所述前處理部經(jīng)所述第二曝光裝置到達(dá)所述后處理部的第二搬運(yùn)路徑比從所述前處理部經(jīng)所述第一曝光裝置到達(dá)所述后處理部的第一搬運(yùn)路徑長， 所述一批次所包括的所述復(fù)數(shù)張基板交替地沿著所述第一搬運(yùn)路徑或所述第二搬運(yùn)路徑被搬運(yùn)， 所述控制部使基板在所述第一搬運(yùn)路徑所包括的特定模塊中的處理時間僅延長規(guī)定的延遲時間，所述特定模塊是對基板進(jìn)行調(diào)溫的調(diào)溫模塊。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人株式會社斯庫林集團(tuán)，其通訊地址為：日本京都府；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。