合肥微睿科技股份有限公司蔡廣云獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉合肥微睿科技股份有限公司申請的專利一種氣體管路系統(tǒng)獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223319328U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-09發(fā)布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為:202422105705.1,技術領域涉及:F25D1/00;該實用新型一種氣體管路系統(tǒng)是由蔡廣云;劉磊;郭利利;顧為飛;張樂樂;陳禹設計研發(fā)完成,并于2024-08-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種氣體管路系統(tǒng)在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種氣體管路系統(tǒng),屬于玻璃基板冷卻設備技術領域。本實用新型包括若干出氣管,所述出氣管位于腔室內,且所述出氣管的兩端分別與所述腔室相對的兩腔室側壁連接;所述出氣管的至少一端與總進氣管連接;所述出氣管內設置氣流通道,所述出氣管靠近所述腔室中心的一側開設若干與所述氣流通道連通的出氣孔。該方案中通過在腔室中設置多個出氣管,每個出氣管上設置多個出氣孔,使出氣孔分散在腔室內的不同部位,經出氣孔吹出的冷卻氣體能夠在腔室內快速擴散,從而能夠對玻璃基板進行均勻冷卻。
本實用新型一種氣體管路系統(tǒng)在權利要求書中公布了:1.一種氣體管路系統(tǒng),設置在液晶顯示面板薄膜沉積設備機臺上,用于對DSSL腔室中的玻璃基板進行冷卻,其特征在于:包括若干出氣管(2),所述出氣管(2)位于腔室內并設置在玻璃基板的上方,且所述出氣管(2)的兩端分別與所述腔室相對的兩腔室側壁(3)連接; 所述出氣管(2)的至少一端與總進氣管(1)連接;所述出氣管(2)內設置氣流通道(21),所述出氣管(2)靠近所述腔室中心的一側開設若干與所述氣流通道(21)連通的出氣孔(22),所述出氣孔(22)朝向玻璃基板設置; 所述出氣孔(22)沿所述出氣管(2)延伸方向間隔設置; 所述出氣孔(22)沿所述出氣管(2)延伸方向設置多排;其中一排所述出氣孔(22)位于所述出氣管(2)正下方,其他排所述出氣孔(22)位于該排所述出氣孔(22)的側面并相對該排所述出氣孔(22)偏移角度α設置,角度α不大于50°。
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