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龍圖騰網獲悉駿一(蘇州)半導體科技有限公司申請的專利半導體12寸20nm以下制程研磨液供應系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115890493B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211477513.2，技術領域涉及：B24B57/02；該發明授權半導體12寸20nm以下制程研磨液供應系統及方法是由徐彬;程一剛設計研發完成，并于2022-11-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本半導體12寸20nm以下制程研磨液供應系統及方法在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體12寸20nm以下制程研磨液供應系統及方法，屬于自動化領域。該系統包括原料輸送單元、自動混酸單元、分送閥箱、末端閥箱和過濾閥箱；所述原料輸送單元、自動混酸單元、分送閥箱和末端閥箱依次連接；本發明不僅可以保證研磨液連續不間斷穩定供應，還能有效防止研磨液結晶沉積。有效提高了晶圓研磨良率，顯著提升了產能。另外，還可以保持研磨系統潔凈度，對敏感液體進行溫和的輸送或制程處理，為制程提供準確、穩定和可靠的流量和壓力供應。

本發明授權半導體12寸20nm以下制程研磨液供應系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種半導體12寸20nm以下制程研磨液供應方法，其特征在于：所述供應方法基于半導體12寸20nm以下制程研磨液供應系統，該系統包括原料輸送單元、自動混酸單元、分送閥箱、末端閥箱和過濾閥箱； 所述原料輸送單元、自動混酸單元、分送閥箱和末端閥箱依次連接； 所述分送閥箱還與過濾閥箱連接，所述過濾閥箱與化學機械拋光CMP機臺連接； 原料輸送單元、自動混酸單元、分送閥箱、末端閥箱和過濾閥箱之間采用雙層管連接，雙層管內管為PFA管，外管為C-PVC透明管； 研磨液通過分送閥箱和過濾閥箱輸送至CMP機臺； 所述原料輸送單元還與純水系統、工藝冷卻供水和工藝冷卻回水連接，還設有排水接口； 所述自動混酸單元還與純水系統、工藝冷卻供水和工藝冷卻回水連接，還設有雙氧水接口； 所述分送閥箱內設有模組閥，兩路進兩路出，每一路出口安裝有流量計，偵測出口流量；分送閥箱內設有漏液傳感器； 所述末端閥箱內設有壓力調整閥和壓力傳感器進行壓力調整，末端閥箱內設有漏液傳感器； 所述過濾閥箱內設有兩組模組閥，兩組可拆過濾器；過濾閥箱內設有漏液傳感器； 所述供應方法包括以下步驟： 研磨液原料桶通過推車運至原料輸送單元； 所述原料輸送單元中，用抽液接頭連接至原料桶，安裝判空液位，用氮氣將T-B氣囊抽成真空，利用虹吸效應，將原料桶中的研磨液流入原料輸送單元設備內部對應的管道上的T-B氣囊中，T-B氣囊與磁浮泵入口端相連接，使磁浮泵入口端充滿研磨液；磁浮泵入口端只有充滿液體時才開啟；在設備內部對應的管道的最高點設置破真空裝置； 偵測T-B氣囊液位，至高液位，開啟磁浮泵，將研磨液原料輸送至自動混酸單元中；系統設置有濕氮加濕器裝置，濕氮加入原料桶內，使原料桶中的濕度滿足95％以上，防止研磨液結晶沉積；系統設置有工藝冷卻水PCW換熱器，用工藝冷卻水進行熱交換，使研磨液溫度保持為24℃；系統設置有純水沖洗裝置，設置水槍與氣槍，用來沖洗抽液接頭、管道及閥門；沖洗后的廢液通過氣動泵，動力排放至廢液收集管內集中排放，同時檢測是否漏液；原液取樣裝置進行原液取樣； 所述自動混酸單元中，研磨液原料通過原料輸送單元輸送至自動混酸單元，設置配方比例，氣動閥開啟，使研磨液進入混合槽內，流量計記錄進液流量，通過混合槽底部稱重傳感器記錄重量；加入一定量雙氧水與純水，充分攪拌與混合，開啟磁浮泵，將混合好的研磨液經過過濾器和模組閥，再經過研磨液原料桶底噴流裝置，回流至混合槽內，同時偵測混合液的電導率、比重及雙氧水滴定儀濃度滴定；各項指標達到后，切換模組閥，使混合好的研磨液輸送至分送閥箱； 設置臨時原料供應系統，推車將原料桶推至自動混酸單元，連接好抽液接頭，通過氣動泵輸送至混合槽中，設置混酸比例，進行混酸，再進行輸送；在設備內部臨時原料供應系統管道的最高點設置破真空裝置； 混合槽為錐形，防止研磨液沉積與結晶；系統設置有濕氮加濕器裝置，濕氮加入混合槽內，使混合槽中的濕度滿足95％以上，防止研磨液結晶沉積；系統設置有PCW換熱器，用工藝冷卻水進行熱交換，使研磨液溫度保持為24℃；系統設置有純水沖洗裝置，設置水槍與氣槍，用來沖洗混合槽、抽液接頭、管道及閥門；沖洗后的廢液通過氣動泵，動力排放至廢液收集管內集中排放，同時檢測是否漏液；原液取樣裝置進行原液取樣； 所述分送閥箱中，自動混酸單元將混配好的研磨液輸送至分送閥箱，分送閥箱內安裝有模組閥，兩路進兩路出，每一路出口安裝有流量計，偵測出口流量；分送閥箱內安裝有漏液傳感器，若有漏液產生，發出報警； 所述末端閥箱中，每一個供液回路的分送閥箱末端安裝末端閥箱，末端閥箱內安裝有壓力調整閥與壓力傳感器，進行系統壓力調整；閥箱內安裝有漏液傳感器，若有漏液產生，發出報警； 所述過濾閥箱中，研磨液通過分送閥箱至過濾閥箱，過濾閥箱內安裝有兩組模組閥，兩組可拆卸過濾器；閥箱內安裝有漏液傳感器，若有漏液產生，發出報警。

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