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龍圖騰網獲悉貴陽學院申請的專利MPCVD裝置及其應用獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116970922B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-05發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311033360.7，技術領域涉及：C23C16/27；該發明授權MPCVD裝置及其應用是由張文聰;朱鏵丞設計研發完成，并于2023-08-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本MPCVD裝置及其應用在說明書摘要公布了：本發明提供了一種MPCVD裝置及其應用，涉及微波等離子體的技術領域，包括同軸線、放大同軸線、第一漸變阻抗匹配器、第二漸變阻抗匹配器、等離子體反應室、基臺，以及懸放于內部的同軸內導體；放大同軸線使同軸線中的TEM模式轉換到放大同軸線中形成穩定的TEM模式；第一漸變阻抗匹配器使放大同軸線中的TEM模式轉換到第一漸變阻抗匹配器腔體內形成TM01模式；等離子體反應室的腔體能放大并保持TM01模式和產生TM02模式，形成混合模式使等離子體產生區域變大。本發明解決了微波等離子體區域小、能量利用率低，以及金剛石制備尺寸小的問題，達到了操作簡單、適用性廣，以及產生更均勻和更大面積金剛石薄膜的效果。

本發明授權MPCVD裝置及其應用在權利要求書中公布了：1.一種MPCVD裝置，其特征在于，包括由順次連接的同軸線（1）、放大同軸線（2）、第一漸變阻抗匹配器（3）、第二漸變阻抗匹配器（6）以及等離子體反應室（7）構成的裝置外部，以及穿過同軸線（1）、放大同軸線（2）和第一漸變阻抗匹配器（3）的同軸內導體（4）； 其中，所述同軸內導體（4）懸放于裝置內部； 所述放大同軸線（2）采用階梯結構，用以使同軸線（1）中的TEM模式轉換到放大同軸線（2）中形成穩定放大的TEM模式； 所述第一漸變阻抗匹配器（3）采用漸變結構，用以將放大同軸線（2）中的TEM模式轉換到第一漸變阻抗匹配器（3）腔體內形成TM01模式； 所述第一漸變阻抗匹配器（3）和所述第二漸變阻抗匹配器（6）之間設置有石英板（5），用以防止污染氣體進入等離子體反應室（7）； 所述石英板（5）下為第二漸變阻抗匹配器（6），所述等離子體反應室（7）的腔室位于第二漸變阻抗匹配器（6）下側，且TM01模式通過第二漸變阻抗匹配器（6）進行放大并產生TM02模式。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人貴陽學院，其通訊地址為：550005 貴州省貴陽市龍洞堡見龍洞路103號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。