深圳市道格特科技有限公司黎華盛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市道格特科技有限公司申請的專利探針檢測方法、裝置和存儲介質獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN120405547B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510912335.9,技術領域涉及:G01R35/00;該發明授權探針檢測方法、裝置和存儲介質是由黎華盛;黃志鋒;張冀陽設計研發完成,并于2025-07-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本探針檢測方法、裝置和存儲介質在說明書摘要公布了:本發明屬于半導體測試領域,提供一種探針檢測方法、裝置和存儲介質。通過軟件獲取坐標測量要素并建立初始坐標系,進一步建立針頭子坐標系和針尖子坐標系,生成第一根探針測試程序,再基于探針間步距進行平移復制以獲得多探針測試程序,匯總形成整體測試程序并自動運行,結合數據分析完成不符合標準的探針篩選。該方法克服了傳統人工測量主觀性強、效率低且易損傷探針的問題,實現快速、準確的自動檢測和探針篩選,顯著提高生產效率并降低人工成本和風險。
本發明授權探針檢測方法、裝置和存儲介質在權利要求書中公布了:1.一種探針檢測方法,其特征在于,在定制治具上設有多個網格,所述探針均勻放置于各網格內,探針包括針頭和針尖,所述方法包括以下步驟: 根據軟件上的坐標測量要素和所述定制治具規格,建立初始坐標系,確定第一根探針在所述定制治具上的位置坐標; 根據所述第一根探針的針頭位置和針尖位置,分別建立針頭子坐標系和針尖子坐標系; 根據所述針頭子坐標系和所述針尖子坐標系,生成所述第一根探針的測試程序; 根據所述第一根探針與其它探針之間的步距,確定所述第一根探針與各其它探針之間的平移量,并基于所述平移量對所述第一根探針的測試程序進行平移復制,得到各個其它探針的測試程序; 根據各探針的測試程序,生成所有探針的整體測試程序; 根據所述整體測試程序運行測試,篩選出不符合標準的探針; 所述坐標測量要素包括起始點和坐標軸補正要素,所述根據軟件上的坐標測量要素和所述定制治具規格,建立初始坐標系,確定第一根探針在所述定制治具上的位置坐標,包括: 選取定制治具的四個頂點中任一點作為第一起始點,與該點橫向或縱向對應的頂點作為第二起始點; 根據所述第一起始點和所述第二起始點,確定初始方向軸; 基于所述初始方向軸進行坐標軸補正,建立初始坐標系; 根據所述第一根探針在所述初始坐標系中的位置,確定所述第一根探針的位置坐標; 所述針頭包括針頭末端點和針頭起始端點,所述針尖包括針尖末端點和針尖起始端點,所述根據所述第一根探針的針頭位置和針尖位置,分別建立針頭子坐標系和針尖子坐標系,包括: 根據所述第一根探針的位置坐標,確定所述第一根探針的針頭末端點位置和針尖末端點位置; 以所述針頭末端點位置為原點,建立針頭子坐標系; 以所述針尖末端點位置為原點,建立針尖子坐標系; 所述根據所述針頭子坐標系和所述針尖子坐標系,生成所述第一根探針的測試程序,包括: 根據所述針頭子坐標系和所述針尖子坐標系,獲取探針坐標信息; 根據所述探針坐標信息,計算探針參數信息; 根據所述探針參數信息以及所述針頭子坐標系和所述針尖子坐標系,生成所述第一根探針的測試程序。
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