上海精測半導體技術有限公司羅滸獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉上海精測半導體技術有限公司申請的專利帶電粒子束裝置及其控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116110767B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211655238.9，技術領域涉及：H01J37/20；該發明授權帶電粒子束裝置及其控制方法是由羅滸;張旭設計研發完成，并于2022-12-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本帶電粒子束裝置及其控制方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種帶電粒子束裝置及其控制方法，帶電粒子束裝置包括：粒子源，用于釋放帶電粒子束；顯微鏡柱，包括：物鏡，用于對所述帶電粒子束進行聚焦；成像系統，用于拍攝樣品，以獲得所述樣品表面的高度信息以及平面信息；運動臺，用于承載并帶動所述樣品運動；控制單元，響應于所述運動臺帶動樣品運動，以根據所述樣品表面的高度信息以及平面信息，補償所述物鏡的焦距和或控制所述樣品與所述顯微鏡柱之間的距離。本申請實現帶電粒子束裝置的自動聚焦和或帶電粒子束裝置及樣品保護。
本發明授權帶電粒子束裝置及其控制方法在權利要求書中公布了：1.一種帶電粒子束裝置，其特征在于，包括： 粒子源，用于釋放帶電粒子束； 顯微鏡柱，包括物鏡以及位于所述物鏡和樣品之間的部件，所述物鏡用于對所述帶電粒子束進行聚焦； 成像系統，用于拍攝樣品，以獲得所述樣品表面的高度信息以及平面信息； 運動臺，用于承載并帶動所述樣品運動； 控制單元，響應于所述運動臺帶動樣品運動，以根據所述樣品表面的高度信息以及平面信息，補償所述物鏡的焦距和控制所述樣品與所述部件之間的距離以實現防撞；或者，以根據所述樣品表面的高度信息以及平面信息，控制所述樣品與所述部件之間的距離以實現防撞。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人上海精測半導體技術有限公司，其通訊地址為：201702 上海市青浦區徐涇鎮雙浜路269、299號1幢1、3層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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