安徽國芯光刻技術有限公司薛業保獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉安徽國芯光刻技術有限公司申請的專利一種光刻機上版夾具獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223284507U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422345402.7，技術領域涉及：G03F7/20；該實用新型一種光刻機上版夾具是由薛業保;張學會;章廣飛;王運鋼設計研發完成，并于2024-09-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種光刻機上版夾具在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種光刻機上版夾具，包括桌臺、通過轉軸轉動設置于桌臺頂部的轉盤，所述轉盤上固定連接有渦狀條，所述渦狀條上方設置有四個呈X型分布的驅動條，所述驅動條底部固定連接有多個驅動齒，所述驅動齒卡接在渦狀條上，所述驅動條遠離轉盤一端固定連接有導向條，所述導向條上固定安裝有吸盤，所述桌臺頂部固定連接有導軌，所述導向條滑動設置于所述導軌上。本實用新型中，啟動電機，帶動蝸桿轉動，蝸桿帶動蝸輪轉動，蝸輪通過轉軸帶動轉盤轉動，轉盤上的渦狀條與驅動齒配合，從而推動驅動條直線位移，使得導向條沿著導軌的方向進行移動，此時導向條上吸盤的位置發生變化，本裝置可以實現同時對四個吸盤的位置調節，節省操作步驟。
本實用新型一種光刻機上版夾具在權利要求書中公布了：1.一種光刻機上版夾具，其特征在于：包括桌臺1、通過轉軸轉動設置于桌臺1頂部的轉盤2，所述轉盤2上固定連接有渦狀條201，所述渦狀條201上方設置有四個呈X型分布的驅動條3，所述驅動條3底部固定連接有多個驅動齒4，所述驅動齒4卡接在渦狀條201上，所述驅動條3遠離轉盤2一端固定連接有導向條5，所述導向條5上固定安裝有吸盤6，所述桌臺1頂部固定連接有導軌12，所述導向條5滑動設置于所述導軌12上。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人安徽國芯光刻技術有限公司，其通訊地址為：230000 安徽省合肥市包河經濟開發區中關村協同智匯園B4棟5層；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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