芯恩(青島)集成電路有限公司王輝獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉芯恩(青島)集成電路有限公司申請的專利晶圓清洗設備及半導體設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN223284957U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202422558093.1，技術領域涉及：H01L21/677；該實用新型晶圓清洗設備及半導體設備是由王輝設計研發完成，并于2024-10-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓清洗設備及半導體設備在說明書摘要公布了：本實用新型提供一種晶圓清洗設備及半導體設備，包括晶圓裝載區、晶圓傳輸區與晶圓清洗區；晶圓裝載區內設置有裝載裝置，用于裝載和卸載晶圓傳送盒，晶圓清洗區內設置有清洗腔室，用于對晶圓進行清洗，晶圓傳輸區位于晶圓裝載區與晶圓清洗區之間實現晶圓的傳輸；晶圓傳輸區內設置有晶圓傳送盒緩沖區，用于放置晶圓傳送盒，晶圓傳送盒內放置清洗之后的晶圓。本實用新型在晶圓傳輸區內設置晶圓傳送盒緩沖區，當晶圓在清洗區域完成清洗之后，會被傳輸至位于所述晶圓傳送盒緩沖區內的所述晶圓傳送盒內，直至晶圓傳送盒內裝滿清洗之后的晶圓之后才傳輸至裝載裝置完成晶圓傳送盒的卸載，從而實現了裝載裝置的充分利用，以此提升機臺產能。
本實用新型晶圓清洗設備及半導體設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓清洗設備，其特征在于，包括晶圓裝載區、晶圓傳輸區與晶圓清洗區；所述晶圓裝載區內設置有裝載裝置，用于裝載和卸載晶圓傳送盒，所述晶圓清洗區內設置有清洗腔室，用于對晶圓進行清洗，所述晶圓傳輸區位于所述晶圓裝載區與所述晶圓清洗區之間實現晶圓的傳輸；所述晶圓傳輸區內設置有晶圓傳送盒緩沖區，用于放置晶圓傳送盒，所述晶圓傳送盒內放置清洗之后的晶圓。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人芯恩(青島)集成電路有限公司，其通訊地址為：266000 山東省青島市黃島區太白山路19號德國企業南區401；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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