合肥晶合集成電路股份有限公司宋富冉獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉合肥晶合集成電路股份有限公司申請的專利金屬疊層結(jié)構(gòu)及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN120109110B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202510591710.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L23/48;該發(fā)明授權(quán)金屬疊層結(jié)構(gòu)及其制備方法是由宋富冉;周儒領(lǐng)設(shè)計研發(fā)完成,并于2025-05-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本金屬疊層結(jié)構(gòu)及其制備方法在說明書摘要公布了:本申請公開了一種金屬疊層結(jié)構(gòu)及其制備方法。該金屬疊層結(jié)構(gòu)包括:至少兩個金屬層,所述兩個金屬層的底面位于同一基底上;其中一個金屬層具有凹槽結(jié)構(gòu),另一個金屬層具有延伸狀結(jié)構(gòu),所述延伸狀結(jié)構(gòu)嵌合在所述凹槽結(jié)構(gòu)中,以形成平面金屬疊層結(jié)構(gòu)。通過本申請實施例的方案,能夠優(yōu)化金屬疊層結(jié)構(gòu),將傳統(tǒng)的金屬疊層結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)換為平面金屬疊層結(jié)構(gòu),消除臺階高度造成的關(guān)鍵尺寸偏差,減小金屬疊層結(jié)構(gòu)交疊處的第二層金屬層因臺階高度而產(chǎn)生斷開和與第一層金屬層貼合裂開的風(fēng)險。
本發(fā)明授權(quán)金屬疊層結(jié)構(gòu)及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種金屬疊層結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:至少兩個金屬層,所述兩個金屬層的底面位于同一基底上; 其中一個金屬層具有凹槽結(jié)構(gòu),另一個金屬層具有延伸狀結(jié)構(gòu),所述延伸狀結(jié)構(gòu)嵌合在所述凹槽結(jié)構(gòu)中,以形成平面金屬疊層結(jié)構(gòu); 所述至少兩個金屬層包括:第一金屬層(11)和第二金屬層(12);所述第一金屬層(11)包括:線型導(dǎo)電部(101)和至少兩個外突導(dǎo)電部(102),所述外突導(dǎo)電部(102)與所述線型導(dǎo)電部(101)相連以形成凹槽結(jié)構(gòu),所述外突導(dǎo)電部(102)為所述凹槽結(jié)構(gòu)的槽壁,所述線型導(dǎo)電部(101)為所述凹槽結(jié)構(gòu)的槽底;所述第二金屬層(12)包括:條型導(dǎo)電部(103)和從所述條型導(dǎo)電部(103)一側(cè)延伸出的嵌合導(dǎo)電部(104),其中,所述嵌合導(dǎo)電部(104)嵌合在所述凹槽結(jié)構(gòu)中,并與所述線型導(dǎo)電部(101)相接。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人合肥晶合集成電路股份有限公司,其通訊地址為:230012 安徽省合肥市新站區(qū)合肥綜合保稅區(qū)內(nèi)西淝河路88號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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