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龍圖騰網獲悉沈陽輝亞工業智能裝備有限公司申請的專利一種晶圓超聲場的數字檢測系統及其方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120121717B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510615556.X，技術領域涉及：G01N29/06；該發明授權一種晶圓超聲場的數字檢測系統及其方法是由何光;劉利設計研發完成，并于2025-05-14向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種晶圓超聲場的數字檢測系統及其方法在說明書摘要公布了：本發明涉及半導體檢測技術領域，公開了一種晶圓超聲場的數字檢測系統及其方法，其中，一種晶圓超聲場的數字檢測方法包括：配置聲學拓撲絕緣體耦合系統，構建無散射聲波傳輸通道；構建異質超表面聲場調控系統，獲取深度維度信息；應用聲學全息補償算法，消除彎曲區域成像畸變，輸出補償后的聲場分布；執行相位恢復與環形重建算法，實現邊緣區域高質量三維成像；實現自適應耦合調整系統，根據實時監測的邊緣反射信號質量自動調整耦合材料特性；本發明通過聲學拓撲絕緣體耦合系統構建無散射聲波傳輸通道，有效解決了邊緣區域聲波散射嚴重的問題，使晶圓邊緣區域的檢測靈敏度有所提高，缺陷漏檢率從傳統方法的有所降低，提升了晶圓檢測的完整性。

本發明授權一種晶圓超聲場的數字檢測系統及其方法在權利要求書中公布了：1.一種晶圓超聲場的數字檢測方法，其特征在于，包括： 配置聲學拓撲絕緣體耦合系統，構建無散射聲波傳輸通道； 基于聲學拓撲絕緣體耦合系統，構建異質超表面聲場調控系統，獲取深度維度信息； 在獲取深度維度信息的基礎上，應用聲學全息補償算法，消除彎曲區域成像畸變，通過計算補償波前函數將晶圓邊緣彎曲區域虛擬展平為等效平面，并計算補償后的聲場分布； 利用補償后的聲場分布，執行相位恢復與環形重建算法，實現邊緣區域高質量三維成像； 根據重建的三維成像結果，實現自適應耦合調整系統，根據實時監測的邊緣反射信號質量自動調整耦合材料特性，所述實現自適應耦合調整系統的步驟包括： 構建基于相變材料的自適應耦合層，選擇聲學相變材料作為耦合介質，其聲阻抗Z在溫度變化下滿足： ； 其中為溫度變化下的聲阻抗值，為基準阻抗值，為阻抗變化幅度系數，為溫度響應靈敏度系數，為相對于相變臨界溫度的溫差，為雙曲正切函數； 構建實時監測子系統，連續評估邊緣反射信號質量，基于回波信號的信噪比和波形完整性，計算信號質量評價指標； 應用反饋控制算法，根據信號質量自動調整相變材料的溫度分布； 輸出自適應優化后的耦合狀態，實現檢測系統與晶圓邊緣之間的最佳聲學匹配。

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