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龍圖騰網獲悉北京京儀自動化裝備技術股份有限公司申請的專利一種半導體溫控模塊TVOC減排系統及方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN120221471B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510695964.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權一種半導體溫控模塊TVOC減排系統及方法是由于賀杰;曹小康;張坤;袁鵬華設計研發完成，并于2025-05-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種半導體溫控模塊TVOC減排系統及方法在說明書摘要公布了：本申請涉及一種半導體溫控模塊TVOC減排系統及方法，其中半導體溫控模塊TVOC減排系統用于溫控模塊的TVOC減排，所述溫控模塊連接有抽排管道，所述抽排管道連接有抽排風機，所述抽排風機通過排廢管道與廢氣處理模塊連接，用于將溫控模塊的TVOC引排至所述廢氣處理模塊進行處理；所述抽排管道和或所述排廢管道上設置有TVOC濃度傳感器、氣體流量計、壓力傳感器以及流量調節閥，且分別與減排系統的控制模塊電連接；所述抽排風機與所述控制模塊電連接。本發明能夠適用于半導體制造溫控模塊的TVOC超標處理，尤其適用于因膠水、保溫棉和冷卻液等的使用導致TVOC超標的溫控模塊，規避總揮發性有機化合物的超標風險。

本發明授權一種半導體溫控模塊TVOC減排系統及方法在權利要求書中公布了：1.一種半導體溫控模塊TVOC減排系統，用于溫控模塊的TVOC減排，其特征在于，所述溫控模塊連接有抽排管道，所述抽排管道連接有抽排風機，所述抽排風機通過排廢管道與廢氣處理模塊連接，用于將溫控模塊的TVOC引排至所述廢氣處理模塊進行處理； 所述抽排管道和或所述排廢管道上設置有TVOC濃度傳感器、氣體流量計、壓力傳感器以及流量調節閥，且分別與減排系統的控制模塊電連接； 所述抽排風機與所述控制模塊電連接； 所述溫控模塊包括溫控模塊殼體，所述溫控模塊殼體上設置有百葉窗封板，所述百葉窗封板可拆卸地連接在所述溫控模塊殼體上，且所述百葉窗封板的百葉窗開度通過調節孔可調； 所述百葉窗封板包括上下分布的兩組，每組所述百葉窗封板包括位于上部的橫向百葉窗封板，以及位于下部的成對設置的豎向百葉窗封板，所述豎向百葉窗封板設置在所述橫向百葉窗封板的橫向兩端； 所述橫向百葉窗封板在橫向兩端的部位開窗，所述豎向百葉窗封板設置在所述橫向百葉窗封板開窗部位的正下方； 所述豎向百葉窗封板的開窗面積大于所述橫向百葉窗封板的開窗面積。

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