寧波柯力傳感科技股份有限公司胡文輝獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉寧波柯力傳感科技股份有限公司申請的專利一種耐高溫、低功耗的柔性薄膜電阻應變計的制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115371540B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210837090.4，技術領域涉及：G01B7/16；該發明授權一種耐高溫、低功耗的柔性薄膜電阻應變計的制備方法是由胡文輝;趙曉華;姚玉明;柯建東設計研發完成，并于2022-07-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種耐高溫、低功耗的柔性薄膜電阻應變計的制備方法在說明書摘要公布了：本發明涉及柔性薄膜電阻應變計制備技術領域，公開了一種耐高溫、低功耗的柔性薄膜電阻應變計的制備方法，包括（1）以玻璃纖維網布增強的聚酰亞胺薄膜為基底，在基底表面涂覆光刻膠進行光刻，圖形化應變計圖形；（2）在基底的應變計圖形上沉積NiCr合金薄膜作為敏感柵層；（3）在敏感柵上設置抗氧化膜層；（4）去除表面多余的光刻膠，退火處理，得到柔性薄膜電阻應變計。所得薄膜應變電阻計可以在200～400℃的高溫環境下正常工作，具有較好的可靠性，而且內阻值可高達3000Ω，極大降低使用功耗，電阻應變計的電阻溫度系數低，同時采用光刻和磁控濺射工藝，提高了應變計加工精度和加工質量，適合批量生產。
本發明授權一種耐高溫、低功耗的柔性薄膜電阻應變計的制備方法在權利要求書中公布了：1.一種柔性薄膜電阻應變計的制備方法，其特征在于，包括以下步驟： （1）以玻璃纖維網布增強的聚酰亞胺薄膜為基底，在基底表面涂覆光刻膠進行光刻，圖形化應變計圖形； （2）在基底的應變計圖形上先沉積NiCrTi合金薄膜，進行預退火，真空退火爐中200～300℃，時間60～90min，通入氬氣和氫氣作為保護氣氛，氫氣和氬氣的分壓比為1:15～20；再沉積NiCr合金薄膜作為敏感柵層，NiCrTi合金薄膜的厚度為NiCr合金薄膜的0.1～0.2倍； （3）在敏感柵上設置抗氧化膜層； （4）去除表面多余的光刻膠，退火處理，得到柔性薄膜電阻應變計。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人寧波柯力傳感科技股份有限公司，其通訊地址為：315033 浙江省寧波市江北區長興路199號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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