北京北方華創微電子裝備有限公司張源獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京北方華創微電子裝備有限公司申請的專利一種晶片承載裝置及半導體處理設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115394877B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211023959.8，技術領域涉及：H10F71/00；該發明授權一種晶片承載裝置及半導體處理設備是由張源;曹京星;程勇杰;趙永飛;李補忠;鄭建宇設計研發完成，并于2022-08-25向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶片承載裝置及半導體處理設備在說明書摘要公布了：本申請公開了一種晶片承載裝置及半導體處理設備，晶片承載裝置包括：下電極板，用于承載載板，并且下電極板上設置有窗口；第一驅動部，與下電極板連接，用于驅動下電極板上升至第一位置，或驅動下電極板下降至第二位置；升降組件，可升降地設置于窗口中，用于相對于下電極板上升時打開窗口，并在上升至第三位置時對載板形成支撐，且能夠沿第一方向傳輸載板；或相對于下電極板下降至第四位置時，蓋合窗口，且升降組件的頂面不高于下電極板的頂面；第二驅動部，與升降組件連接，用于驅動升降組件相對下電極板做升降運動。本申請在下電極板上設置窗口，在窗口中設置升降組件，升降組件上升至第三位置時對載板形成支撐，避免載板變形。
本發明授權一種晶片承載裝置及半導體處理設備在權利要求書中公布了：1.一種晶片承載裝置，應用于半導體處理設備的工藝腔室，其特征在于，包括： 下電極板，用于承載沿第一方向傳送至所述工藝腔室中的載板，并且所述下電極板上設置有窗口； 第一驅動部，與所述下電極板連接，用于驅動所述下電極板上升至第一位置，或驅動所述下電極板下降至第二位置； 升降組件，可升降地設置于所述窗口中，所述升降組件用于相對于所述下電極板上升時，打開所述窗口，并在上升至第三位置時，對所述載板形成支撐，且能夠沿所述第一方向傳輸所述載板；或相對于所述下電極板下降至第四位置時，蓋合所述窗口，且所述升降組件的頂面不高于所述下電極板的頂面； 第二驅動部，與所述升降組件連接，用于驅動所述升降組件相對所述下電極板升降。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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