華南理工大學陳忠獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉華南理工大學申請的專利一種復合阻尼XYZ解耦并聯柔順定位平臺及控制方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115494266B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211030242.6,技術領域涉及:G01Q60/24;該發明授權一種復合阻尼XYZ解耦并聯柔順定位平臺及控制方法是由陳忠;邱鈺莨;石俊杰;鐘喜能;張憲民設計研發完成,并于2022-08-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種復合阻尼XYZ解耦并聯柔順定位平臺及控制方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種復合阻尼XYZ解耦并聯柔順定位平臺及控制方法,包括動平臺,所述動平臺內嵌梯度局部諧振器,所述動平臺分別與三個運動支鏈連接,每個運動支鏈與壓電陶瓷作動器連接,所述運動支鏈包括位移放大機構及兩個雙軸同位正交柔性鉸鏈,所述雙軸同位正交柔性鉸鏈內嵌阻尼子結構。本發明實現了高帶寬的微納定位平臺,可以應用于AFM原子力顯微鏡或SEM掃描電鏡,作為高速掃描的載物平臺使用。
本發明授權一種復合阻尼XYZ解耦并聯柔順定位平臺及控制方法在權利要求書中公布了:1.一種復合阻尼XYZ解耦并聯柔順定位平臺,其特征在于,包括動平臺,所述動平臺內嵌梯度局部諧振器,所述動平臺分別與三個運動支鏈連接,每個運動支鏈與壓電陶瓷作動器連接,所述運動支鏈包括位移放大機構及兩個雙軸同位正交柔性鉸鏈,所述雙軸同位正交柔性鉸鏈內嵌阻尼子結構; 所述梯度局部諧振器包括27個局部諧振單元及三層九宮格框架,每層九宮格框架設置9個局部諧振單元,每個局部諧振單元由均質硅膠層包裹不同直徑的鉛珠構成,與動平臺形成各自獨立的并聯關系; 所述每層九宮格框架設置9個局部諧振單元,所述9個局部諧振單元包括2mm鉛珠3個,3mm鉛珠5個,4mm鉛珠1個; 所述4mm鉛珠位于九宮格的右上角,三個2mm鉛珠分別位于九宮格的左上下角以及右下角,其余位置設置3mm鉛珠。
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