北京鎵和半導體有限公司唐為華獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉北京鎵和半導體有限公司申請的專利一種α相氧化鎵晶體的制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115652429B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211105969.6,技術領域涉及:C30B29/16;該發明授權一種α相氧化鎵晶體的制備方法是由唐為華;馮淦榮;李山設計研發完成,并于2022-09-08向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種α相氧化鎵晶體的制備方法在說明書摘要公布了:本發明提供的一種α相氧化鎵晶體的制備方法。通過設計腔體結構、選定坩堝及熔鹽材料,成功在高溫高壓的六面頂壓機內生長出α相氧化鎵晶體。上述方法包括以下步驟:取一定粒度的5N氧化鎵粉末β相和熔鹽材料按一定比例充分混合后進行靜壓成型;在手套箱內將氧化鎵籽晶α相放置在坩堝底部后將成型后的原料壓入坩堝;采用常規密封方式將坩堝密封后置于六面頂壓機內;升壓升溫后以常規方法包括緩慢降溫法、溫度梯度法、降溫降壓法進行一定時間的生長即可得到毫米級的α相氧化鎵晶體。
本發明授權一種α相氧化鎵晶體的制備方法在權利要求書中公布了:1.一種α相氧化鎵單晶的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:取粒度為4~20的β相氧化鎵粉末和燒堿在水中充分混合;將混合后的溶液加入原料坩堝后置于常規加熱爐內;將爐體抽真空后通以流動的惰性氣體;加熱原料坩堝至200~300℃保持0.5~3小時充分去除水分;將得到的粉體進行靜壓成型后放入干燥箱備用;將得到的原料、α相氧化鎵籽晶、坩堝放入充滿惰性氣體的手套箱中;在手套箱中將籽晶放入坩堝底部后將成型后的原料壓入坩堝,并將坩堝焊接密封;將坩堝和組裝塊組合,其垂直方向由保溫材料和石墨圓盤組成,徑向由石墨襯套包裹;組裝完成后置于六面頂壓機內;以100~500℃小時的速率將系統溫度上升至900~1100℃,同時將系統壓力上升至3~5GPa,保溫保壓0.5~100小時;待爐內降至常溫常壓后,將坩堝取出后切割,再取出其中成品,以純水清洗后即可得到透明的α相氧化鎵單晶。
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