東莞市兆豐精密儀器有限公司段存立獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉東莞市兆豐精密儀器有限公司申請的專利一種全自動影像儀的Z軸歸零位標定方法及測量系統獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115790377B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211504755.6,技術領域涉及:G01B11/00;該發明授權一種全自動影像儀的Z軸歸零位標定方法及測量系統是由段存立;黃宏臻設計研發完成,并于2022-11-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種全自動影像儀的Z軸歸零位標定方法及測量系統在說明書摘要公布了:本發明提供了一種全自動影像儀的Z軸歸零位標定方法,其包括步驟S1,設載物平臺上表面為理論坐標系零點Z,光學顯微鏡筒的理論聚焦高度為Z0,Z與Z0之間的距離為C;S2,上電初始化,打開測量軟件“一鍵回零”功能,光學影像組件在Z0上、下區域內掃描搜索載物平臺的上表面并拍攝若干張圖片,計數光柵尺采集每張圖片的Z軸坐標值信息;S3,測量軟件提取最清晰的幾張圖片,這些圖片在高度方向上空間層疊且形成高度區域,在這個區域內軟件根據每張圖片的清晰度以拋物線方式擬合得一個峰值點,峰值點所對應的Z軸坐標值就是實際聚焦高度Zn,計算出點Z與Zn之間距離為Cn;S4.Z軸升降模塊在當前的Zn位置沿Z軸上偏移?△C=Cn?C,修正了理論坐標系零點Z。
本發明授權一種全自動影像儀的Z軸歸零位標定方法及測量系統在權利要求書中公布了:1.一種全自動影像儀的Z軸歸零位標定方法,所述全自動影像儀包括載物平臺、位于所述載物平臺上方的光學影像組件以及可驅動所述光學影像組件沿Z軸方向移動的Z軸升降模塊、可輸出Z軸絕對坐標值的計數光柵尺,所述光學影像組件包括光學顯微鏡筒、CCD機構以及光源,其特征在于,所述方法包括步驟: S1,設定所述載物平臺的上表面為理論坐標系零點Z,所述光學顯微鏡筒的理論聚焦高度為Z0,所述理論坐標系零點Z與所述理論聚焦高度為Z0之間的距離為C,C為常數; S2,所述全自動影像儀上電初始化后,打開測量軟件點擊“一鍵回零”功能,所述Z軸升降模塊驅動所述光學影像組件在所述理論聚焦高度Z0上、下區域內自動掃描搜索所述載物平臺的上表面并拍攝若干張圖片,所述計數光柵尺采集所述若干張圖片的Z軸絕對坐標值,每張圖片具有一個對應的Z軸坐標值信息; 在步驟S2中,所述光學影像組件在所述理論聚焦高度Z0的上下區域沿固定間隔平滑掃描所述載物平臺的上表面,所述固定間隔為0.1微米; S3,所述測量軟件分析所述若干張圖片,提取出其中最清晰的一張,并獲得相應的實際聚焦高度Zn,計算出理論坐標系零點Z與實際聚焦高度Zn之間的距離為Cn; 在步驟S3中,所述測量軟件分析所述若干張圖片,提取最清晰的幾張圖片,令所述幾張圖片在高度方向上空間層疊且形成一個高度區域,在所述高度區域內所述測量軟件根據每張圖片的清晰度再以拋物線方式擬合得出一個峰值點,峰值點所對應的Z軸坐標值就是實際聚焦高度Zn; S4.所述測量軟件控制所述Z軸升降模塊在當前的實際聚焦高度Zn位置沿Z軸上偏移-△C=Cn-C,從而修正了Z軸的理論坐標系零點Z。
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