樂金顯示光電科技(中國)有限公司周向陽獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉樂金顯示光電科技(中國)有限公司申請的專利化學氣相沉積設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN223268760U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-26發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202422618137.5,技術領域涉及:C23C16/50;該實用新型化學氣相沉積設備是由周向陽設計研發完成,并于2024-10-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本化學氣相沉積設備在說明書摘要公布了:本實用新型涉及一種化學氣相沉積設備,包括電子發射裝置以及反應裝置。電子發射裝置包括熱電離機構以及陽極結構,熱電離機構具有熱電離腔以及設于熱電離腔外部的電阻絲,熱電離腔用于容納熱電離氣體,電阻絲能夠對熱電離腔進行加熱,陽極結構位于熱電離機構的一側,且陽極結構設有第一通孔,第一通孔連通于熱電離腔,反應裝置包括氣相沉積室以及反應氣體輸送機構,氣相沉積室的內部連通于第一通孔遠離熱電離腔的一端,反應氣體輸送機構連通于氣相沉積室的內部。該電子發射裝置的電子發射性能較穩定,能夠降低化學氣相沉積設備的清潔、維護頻率,且使化學氣相沉積設備對反應氣體的電離性能較穩定,化學氣相沉積設備的化學氣相沉積效率較穩定。
本實用新型化學氣相沉積設備在權利要求書中公布了:1.一種化學氣相沉積設備,其特征在于,包括: 電子發射裝置,所述電子發射裝置包括熱電離機構以及陽極結構,所述熱電離機構具有熱電離腔以及設于所述熱電離腔外部的電阻絲,所述熱電離腔用于容納熱電離氣體,所述電阻絲能夠對所述熱電離腔進行加熱,所述陽極結構位于所述熱電離機構的一側,且所述陽極結構設有第一通孔,所述第一通孔連通于所述熱電離腔;以及, 反應裝置,所述反應裝置包括氣相沉積室以及反應氣體輸送機構,所述氣相沉積室的內部連通于所述第一通孔遠離所述熱電離腔的一端,所述反應氣體輸送機構連通于所述氣相沉積室的內部。
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