買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉上海大學申請的專利沉積輔助結構、光學結構的形成方法及衍射光波導獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119506795B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產權局官網(wǎng)在2025-08-26發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202510089001.6，技術領域涉及：C23C14/34；該發(fā)明授權沉積輔助結構、光學結構的形成方法及衍射光波導是由劉海設計研發(fā)完成，并于2025-01-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本沉積輔助結構、光學結構的形成方法及衍射光波導在說明書摘要公布了：一種沉積輔助結構、光學結構的形成方法及衍射光波導，方法包括：提供基板，所述基板包括一個或多個光學結構區(qū)域；提供沉積輔助結構，所述沉積輔助結構垂直于基板表面方向設置；提供靶材，設置于所述基板上方；將所述沉積輔助結構設置于所述靶材與所述基板之間，所述第二輔助板與所述基板接觸，所述第二窗口與所述光學結構區(qū)域相對應，所述第一窗口與所述靶材相對應；通過調整靶材、第一窗口和第二窗口的相對位置在所述光學結構區(qū)域上形成厚度依次增加或減少的光學結構材料層。以實現(xiàn)光學結構的厚度連續(xù)變化得到精確控制。

本發(fā)明授權沉積輔助結構、光學結構的形成方法及衍射光波導在權利要求書中公布了：1.一種沉積輔助結構，其特征在于，包括： 第一輔助板，所述第一輔助板內具有貫穿所述第一輔助板的第一窗口； 第二輔助板，所述第二輔助板內具有貫穿所述第二輔助板的第二窗口，所述第一窗口和所述第二窗口的中心線不重合； 所述第二輔助板設置于基板上且與所述基板相接觸； 所述第一輔助板和所述第二輔助板之間平行設置且具有間距，所述第一輔助板的所述第一窗口和所述第二輔助板的所述第二窗口用于在所述第二窗口內形成厚度依次增加或減少的材料層；所述材料層的厚度與所述間距相關；所述第一窗口投影于所述第二輔助板的投影范圍與所述第二窗口部分重合； 所述材料層用于形成衍射光波導的轉折光柵和或耦出光柵，所述轉折光柵和或所述耦出光柵的深度沿著光線傳輸?shù)姆较蛑饾u增加；通過調整所述間距的大小、所述第一窗口和所述第二窗口的相對位置，調整所述材料層在不同位置的厚度。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人上海大學，其通訊地址為：200444 上海市寶山區(qū)上大路99號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。