武漢敏聲新技術有限公司羅天成獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉武漢敏聲新技術有限公司申請的專利叉指型體聲波諧振器及濾波器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN113810014B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111115882.2,技術領域涉及:H03H9/02;該發明授權叉指型體聲波諧振器及濾波器是由羅天成;蔡耀;周杰;孫成亮;孫博文設計研發完成,并于2021-09-23向國家知識產權局提交的專利申請。
本叉指型體聲波諧振器及濾波器在說明書摘要公布了:一種叉指型體聲波諧振器及濾波器,涉及諧振器技術領域。該叉指型體聲波諧振器包括襯底和位于襯底上的壓電疊層,壓電疊層包括位于襯底上的壓電層以及位于壓電層上的第一組叉指電極和第二組叉指電極,襯底靠近壓電疊層的一側設有空腔;其中,第一組叉指電極和第二組叉指電極均包括多個第一電極,且至少兩個第一電極在壓電層上的高度不同。該叉指型體聲波諧振器能夠通過設置多個不同高度的叉指陣列,實現多模態諧振器的各模態獨立調諧。
本發明授權叉指型體聲波諧振器及濾波器在權利要求書中公布了:1.一種叉指型體聲波諧振器,其特征在于,包括襯底和位于所述襯底上的壓電疊層,所述壓電疊層包括位于所述襯底上的壓電層以及位于所述壓電層上的第一組叉指電極和第二組叉指電極,所述襯底靠近所述壓電疊層的一側設有空腔;其中,所述第一組叉指電極和所述第二組叉指電極均包括多個第一電極,且至少兩個所述第一電極在所述壓電層上的高度不同,多個所述第一電極在所述壓電層上具有兩個或三個不同的高度值; 所述叉指型體聲波諧振器還包括位于所述壓電層與所述襯底之間的第三叉指電極和第四叉指電極,所述第三叉指電極和所述第四叉指電極均包括多個第二電極,且至少兩個所述第二電極在所述壓電層上的高度不同,多個所述第二電極在所述壓電層上呈現兩種或三種不同的高度; 所述壓電疊層包括至少兩個,且任意一個所述壓電疊層的多個所述第一電極在所述壓電層上的高度與其余所述壓電疊層的多個所述第一電極在所述壓電層上的高度均不同; 所述第一電極和所述第二電極在所述壓電層上的高度均在1nm至1μm之間,所述第一電極的不同高度和所述第二電極的不同高度分別對應不同的諧振頻率,通過調節所述第一電極和所述第二電極的高度,使得所述叉指型體聲波諧振器的阻抗曲線具有多個主諧振峰,多個所述主諧振峰之間的頻率間隔大于或等于900MHz。
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