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龍圖騰網獲悉EV 集團 E·索爾納有限責任公司申請的專利用于接合襯底的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114334626B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210003795.6，技術領域涉及：H01L21/18；該發明授權用于接合襯底的方法是由F.庫爾茨;T.瓦根萊特納;T.普拉赫;J.M.聚斯設計研發完成，并于2016-02-16向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于接合襯底的方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種用于將第一襯底（2）與第二襯底（2＇）在所述襯底（2，2＇）的接觸面（2o，2o＇）處接合的方法，其具有如下步驟、尤其是如下流程：?用保持力FH1將所述第一襯底（2）保持在第一樣品支架（1）的第一樣品支架表面（1o）上，以及用保持力FH2將所述第二襯底（2＇）保持在第二樣品支架（1＇）的第二樣品支架表面（1o＇）上，?將所述接觸面（2o，2o＇）在接合發起部位（20）處接觸并且至少將所述第二樣品支架表面（1o，1o＇）加熱到加熱溫度TH，?沿著從所述接合發起部位（20）伸展至所述襯底（2，2＇）的側邊緣（2s，2s＇）的接合波，將所述第一襯底（2）與所述第二襯底（2＇）接合，其特征在于，在接合期間減小在所述第二樣品支架表面（1o＇）上的所述加熱溫度TH。

本發明授權用于接合襯底的方法在權利要求書中公布了：1.一種用于將第一襯底與第二襯底接合的設備，其包括： 第一樣品支架，所述第一樣品支架被配置成利用第一保持力FH1來保持所述第一襯底，所述第一保持力FH1通過所述第一樣品支架的多個可單個操控的第一真空軌道來施加，使得能夠有針對性地從內向外來固定或分離所述第一襯底與所述第一樣品支架，或者能夠有針對性地從外向內來固定或分離所述第一襯底與所述第一樣品支架； 第二樣品支架，所述第二樣品支架被配置成利用第二保持力FH2來保持所述第二襯底，所述第二保持力FH2通過所述第二樣品支架的多個可單個操控的第二真空軌道來施加，使得能夠有針對性地從內向外來固定或分離所述第二襯底與所述第二樣品支架，或者能夠有針對性地從外向內來固定或分離所述第二襯底與所述第二樣品支架，其中所述第一和第二樣品支架被配置成能相對接近以實現所述第一和第二襯底的相對接近；以及 測量裝置，所述測量裝置被配置成： 在所述第一襯底與所述第二襯底接觸期間，檢測所述第一襯底和所述第二襯底的已接合的表面相對于所述第一襯底和所述第二襯底的未接合的表面的百分比數量；以及 經由所檢測到的百分比數量監控在所述第一襯底與所述第二襯底之間的接合波的前進，以使得能夠通過連續地解除真空來有針對性地解除固定裝置，以此控制所述接合波。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人EV 集團 E·索爾納有限責任公司，其通訊地址為：奧地利圣弗洛里安；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。