UP化學株式會社金潤泰獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉UP化學株式會社申請的專利釕前體組合物、其制備方法以及使用其形成含釕膜的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119317732B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202380045156.9，技術領域涉及：C23C16/18；該發明授權釕前體組合物、其制備方法以及使用其形成含釕膜的方法是由金潤泰;韓元錫;樸赟峨;高元勇設計研發完成，并于2023-03-30向國家知識產權局提交的專利申請。
本釕前體組合物、其制備方法以及使用其形成含釕膜的方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種釕前體組合物、其制備方法以及使用其形成含釕膜的方法。根據本發明的實施方案，包括使由化學式4表示的化合物與由化學式5表示的堿金屬碳酸鹽和1,5?己二烯在有機溶劑中進行反應的步驟，并通過將由化學式1表示的化合物、由化學式2表示的化合物和由化學式3表示的化合物控制在特定的含量范圍內，可以以經濟有效的方式提供非常熱穩定的釕前體組合物。此外，在使用釕前體組合物形成含釕膜的情況下，在使釕前體組合物汽化的過程中或甚至之后，可以防止釕前體組合物的組成發生變化，可以最大限度地減少諸如熱解物質等的副產物的產生，因此可以在半導體工藝中獲得具有穩定和恒定性質的沉積結果。在這方面，可以提供一種具有保證再現性和可靠性的含釕膜。
本發明授權釕前體組合物、其制備方法以及使用其形成含釕膜的方法在權利要求書中公布了：1.一種釕前體組合物，以釕前體組合物的總重量計，所述釕前體組合物包含20重量％至60重量％的由下式1表示的化合物、20重量％至50重量％的由下式2表示的化合物，和0重量％至55重量％的由下式3表示的化合物： [式1] [式2] [式3]
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人UP化學株式會社，其通訊地址為：韓國京畿道；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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