江蘇高同裝備有限公司葉佩青獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇高同裝備有限公司申請的專利基于真空鍍膜在線檢測控厚裝置獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN117165911B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202311138038.0,技術領域涉及:C23C14/54;該發明授權基于真空鍍膜在線檢測控厚裝置是由葉佩青;馮志偉;田湛設計研發完成,并于2023-09-05向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于真空鍍膜在線檢測控厚裝置在說明書摘要公布了:本發明提供了一種基于真空鍍膜在線檢測電機控厚裝置包括位于外殼內部的驅動板和多個并排設置的控厚組件,所述控厚組件包括依次連接的直線電機、連桿、連接塊和補正板,所述驅動板通過直線電機控制補正板接近或者遠離離子膜發射柱,所述連桿穿過外殼的前面板,連桿處設置有位置鎖死機構。外部pc端發送指令給驅動板,輸出信號控制直線電機,進而驅動連桿、連接塊和補正板做直線運動,能夠精準控制補正板前端與離子膜發射柱的間隙,從而控制離子膜磁濺射通過的濃度,控制鍍膜層的厚度。本發明能實現在線控制真空鍍膜厚度,還可以實現厚度變化性鍍膜,易于推廣應用,具有較大實用價值。
本發明授權基于真空鍍膜在線檢測控厚裝置在權利要求書中公布了:1.一種基于真空鍍膜在線檢測控厚裝置,其特征在于:包括位于外殼內部的驅動板和多個并排設置的控厚組件,所述控厚組件包括依次連接的直線電機、連桿、連接塊和補正板,所述驅動板通過直線電機控制補正板接近或者遠離離子膜發射柱,所述連桿穿過外殼的前面板,連桿處設置有位置鎖死機構;所述位置鎖死機構包括固定座、凸輪、壓板、支撐桿和彈簧,所述固定座內設置有直線電機,所述直線電機的前端固定連接有凸輪,所述壓板的上側設置有與凸輪相配合的滑坡,所述壓板的下方設置有多個與連桿相配合的半圓挖槽,所述壓板的兩側設置有穿過支撐桿的開孔,所述支撐桿的另一端固定在外殼內部,所述支撐桿上設置有彈簧,通過彈簧和凸輪控制壓板與連桿之間的距離。
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