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龍圖騰網(wǎng)獲悉星鑰半導(dǎo)體(武漢)有限公司申請(qǐng)的專利一種拋光盤上拋光墊缺陷檢測(cè)裝置獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN223251375U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-22發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422265509.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B24B49/12；該實(shí)用新型一種拋光盤上拋光墊缺陷檢測(cè)裝置是由楊東設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-09-14向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種拋光盤上拋光墊缺陷檢測(cè)裝置在說(shuō)明書摘要公布了：本實(shí)用新型公開了一種拋光盤上拋光墊缺陷檢測(cè)裝置，應(yīng)用于晶圓研磨領(lǐng)域，包括：拋光盤和激光掃描器承載架；拋光盤表面設(shè)置有拋光墊安裝區(qū)域；激光掃描器承載架裸露有設(shè)置的激光探頭；激光掃描器承載架，為沿靠近和遠(yuǎn)離拋光盤的方向可移動(dòng)的激光掃描器承載架；激光掃描器承載架與拋光盤對(duì)應(yīng)設(shè)置，以在激光掃描器承載架靠近拋光盤時(shí)，激光探頭位于拋光墊安裝區(qū)域的上方。本實(shí)用新型通過(guò)在拋光墊安裝區(qū)域安裝有拋光墊時(shí)，利用對(duì)應(yīng)設(shè)置的激光探頭向拋光墊表面發(fā)射激光光束，并接收經(jīng)拋光墊表面反射的激光光束，進(jìn)而根據(jù)反射延遲確定拋光墊與拋光盤間是否存在氣泡缺陷，以提高檢測(cè)的準(zhǔn)確性，同時(shí)設(shè)置可移動(dòng)式激光掃描器承載架，提高檢測(cè)的靈活性。

本實(shí)用新型一種拋光盤上拋光墊缺陷檢測(cè)裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種拋光盤上拋光墊缺陷檢測(cè)裝置，其特征在于，包括： 拋光盤和激光掃描器承載架；所述拋光盤表面設(shè)置有拋光墊安裝區(qū)域； 所述激光掃描器承載架裸露有設(shè)置的激光探頭； 所述激光掃描器承載架，為沿靠近和遠(yuǎn)離所述拋光盤的方向可移動(dòng)的激光掃描器承載架； 所述激光掃描器承載架與所述拋光盤對(duì)應(yīng)設(shè)置，以在所述激光掃描器承載架靠近所述拋光盤時(shí)，所述激光探頭位于所述拋光墊安裝區(qū)域的上方。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人星鑰半導(dǎo)體(武漢)有限公司，其通訊地址為：430000 湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)未來(lái)科技城龍山南街6號(hào)展想新思中心1號(hào)樓8樓808單元；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。