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          微觀裝置的制造及其處理技術(shù)
          • 本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種微鏡芯片封裝結(jié)構(gòu)、激光設(shè)備和汽車。涉及微機(jī)電技術(shù)領(lǐng)域。主要用于提供一種能夠抑制微鏡芯片振動(dòng)幅度的微鏡芯片封裝結(jié)構(gòu)。該微鏡芯片封裝結(jié)構(gòu)包括微鏡芯片、堆疊的第一襯底和第二襯底;微鏡芯片設(shè)置在第一襯底的背離第二襯底的一側(cè);微鏡...
          • 本發(fā)明涉及一種用于傳感器設(shè)備或麥克風(fēng)設(shè)備的微機(jī)械構(gòu)件,其具有:襯底;框架結(jié)構(gòu),其布置在襯底表面和/或至少一個(gè)中間層上;膜片,其跨越由框架結(jié)構(gòu)至少部分地圍繞的內(nèi)部體積,其中,內(nèi)部體積以氣密的方式如此密封,使得膜片能夠借助存在于其膜片內(nèi)側(cè)上的內(nèi)...
          • 本發(fā)明屬于光學(xué)器件相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域,并公開了一種具備定心性的雙軸疊層掃描鏡及其制備方法。該掃描鏡包括上層結(jié)構(gòu)和下層結(jié)構(gòu),所述下層結(jié)構(gòu)作為所述上層結(jié)構(gòu)的載體并為所述上層結(jié)構(gòu)提供搖擺的驅(qū)動(dòng)力;所述上層結(jié)構(gòu)包括反射鏡和對(duì)稱設(shè)置在所述鏡體側(cè)面的定心彈簧...
          • 本實(shí)用新型公開了一種半導(dǎo)體器件及掩模結(jié)構(gòu),應(yīng)用于MEMS器件技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型采用T形錨柱實(shí)現(xiàn)讀出電路晶圓和MEMS器件的電連接,對(duì)應(yīng)形成該T形錨柱的接觸孔結(jié)構(gòu)是上寬下窄的階梯形狀,該形狀的接觸孔結(jié)構(gòu)的開口位置不存在底切結(jié)構(gòu),更容易在接觸...
          • 本發(fā)明涉及控制器件領(lǐng)域,提供一種MEMS控制器及MEMS器件。本發(fā)明的MEMS控制器包括至少一個(gè)控制單元以及封裝結(jié)構(gòu);控制單元包括錨定結(jié)構(gòu)以及與錨定結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的懸臂梁結(jié)構(gòu),錨定結(jié)構(gòu)具有相對(duì)的底面和頂面,懸臂梁結(jié)構(gòu)具有相對(duì)的第一端和第二端,懸...
          • 本公開實(shí)施例涉及一種柔性MEMS開關(guān),其中,包括MEMS主體和位于所述MEMS主體外部的封裝體,所述封裝體包括第一柔性蓋板和第二柔性蓋板,所述第一柔性蓋板和所述第二柔性蓋板分別罩設(shè)于所述MEMS主體的相對(duì)的兩側(cè),且所述第一柔性蓋板與所述ME...
          • 一種批量制備石墨島滑塊陣列的方法,該方法在制備石墨島滑塊陣列的過程中增加晶粒結(jié)構(gòu)檢測(cè)步驟,并通過控制后續(xù)的刻蝕步驟,使滑塊內(nèi)部有且僅有一個(gè)晶界面,當(dāng)剪切這些滑塊時(shí),它們將從唯一的晶界面滑開。采用該方法制備的滑塊陣列,具有統(tǒng)一的滑移面和高度,...
          • 本發(fā)明公開了一種蔬菜包裝用的氣調(diào)保鮮存儲(chǔ)箱,涉及氣調(diào)保鮮存儲(chǔ)箱技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括箱體,所述箱體的內(nèi)部貼合有四組存儲(chǔ)室,四組所述存儲(chǔ)室的一側(cè)均設(shè)置有節(jié)氣組件。本發(fā)明通過液壓桿帶動(dòng)承接板沿著箱體的內(nèi)壁進(jìn)行垂直向上移動(dòng),使得存儲(chǔ)室和固定塊跟隨存...
          • 本實(shí)用新型屬于包裝箱技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種用于精密儀器高度保護(hù)的運(yùn)輸包裝箱,包括外箱和內(nèi)箱,所述外箱內(nèi)底部安裝有枕?xiàng)l,所述枕?xiàng)l上安裝有枕板,所述枕板和所述內(nèi)箱底部之間安裝有若干支撐條,若干所述支撐條兩端均一并安裝有橫限位條,兩條所述橫限位條兩...
          • 本發(fā)明提供了一種柔性鈀薄膜氫氣傳感器及其制備方法,其從下往上依次設(shè)置柔性基底、氫敏傳感層和接觸連接層,接觸連接層與電阻測(cè)量單元連接;氫敏傳感層為具有錐形微納結(jié)構(gòu)的鈀或鈀合金薄膜。本發(fā)明的錐形微納結(jié)構(gòu)的鈀或鈀合金薄膜為柔性鈀薄膜氫氣傳感器提供...
          • 本實(shí)用新型提供的一種微型電化學(xué)三電極測(cè)試芯片,包括有金屬電極層的襯底;所述襯底的參比電極層上設(shè)置有陣列式位點(diǎn),所述位點(diǎn)區(qū)域暴露出工作電極層以及對(duì)電極層;所述參比電極層上設(shè)置有第一絕緣層,所述第一絕緣層上開設(shè)有多個(gè)通孔,多個(gè)所述通孔分別與工作...
          • 本發(fā)明公開了一種海運(yùn)用防鹽霧包裝箱,屬于包裝箱技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括第一箱體和設(shè)置在第一箱體內(nèi)部的第二箱體,第二箱體內(nèi)放置待運(yùn)輸產(chǎn)品。第一箱體包括第一頂板、第一底板和多塊第一側(cè)板,第一頂板、第一底板和多塊第一側(cè)板圍接形成封閉箱體。第一側(cè)板上沿...
          • 本公開提供了一種抽氣裝置,抽氣裝置包括:吸盤與真空泵,吸盤包括柔性件和基座,沿吸盤的厚度方向,基座上設(shè)有貫穿的氣孔,柔性件的吸附面上設(shè)有第一凸環(huán)、第二凸環(huán)和第三凸環(huán),第二凸環(huán)圍繞第一凸環(huán),第三凸環(huán)圍繞第二凸環(huán);在厚度方向上,第二凸環(huán)凸出于第...
          • 本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種微納層結(jié)構(gòu)的制作方法、加工裝置以及電子器件,制作方法包括提供掩膜件,掩膜件包括第一區(qū)域和第二區(qū)域,第一區(qū)域大于第二區(qū)域的磁場(chǎng)強(qiáng)度;提供基板,基板包括基體以及原膠層,原膠層包括膠體和磁性粒子;將掩膜件與基板相對(duì),且所述掩膜...
          • 本發(fā)明公開一種微結(jié)構(gòu)制備設(shè)備及微結(jié)構(gòu)制備方法,微結(jié)構(gòu)制備方法包括:提供裝有顆粒懸浮液的容器以及具有親水界面的基材;將提供好的基材至少部分置放于所述容器中的顆粒懸浮液中;對(duì)所述容器中的顆粒懸浮液進(jìn)行蒸發(fā),以將所述顆粒懸浮液中的懸浮顆粒沉積在所...
          • 本發(fā)明公開了一種大深寬比陷光微結(jié)構(gòu)的制作方法,針對(duì)大尺寸、大深寬比陷光微結(jié)構(gòu)難以大面積、高質(zhì)量、高效率低成本成型的問題,發(fā)明了大深寬比陷光微結(jié)構(gòu)紫外光固化壓印成型方法,探究大尺寸、大深寬比陷光微結(jié)構(gòu)壓印時(shí)難以充型與脫模問題,提出了大深寬比陷...
          • 提高作業(yè)性,并且可靠地進(jìn)行捆包。捆包結(jié)構(gòu),包括:一對(duì)捆包材料(2、3),具有能夠與作為捆包對(duì)象的電子設(shè)備的多個(gè)面抵接的抵接面(2A、2B、2C、2D);連結(jié)部(4),連結(jié)一對(duì)捆包材料(2、3);以及圓角部(2E),分別設(shè)置在一對(duì)捆包材料(2...
          • 本實(shí)用新型涉及縫紉技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種縫紉平車的線頭收集裝置,包括機(jī)體,所述機(jī)體的內(nèi)部固定連接有收集箱,所述收集箱的內(nèi)部設(shè)置有處理箱,所述處理箱的內(nèi)部設(shè)置有風(fēng)機(jī),所述機(jī)體的內(nèi)部開設(shè)有滑道,所述滑道的內(nèi)部滑動(dòng)連接有滑塊,所述滑道的內(nèi)頂壁固定連...
          • 本申請(qǐng)公開了一種吸線裝置和吸線方法,涉及縫紉機(jī)技術(shù)領(lǐng)域,吸線裝置包括吸料管、氣壓驅(qū)動(dòng)件、負(fù)壓發(fā)生器和氣源組件。吸料管用于吸取面線殘留位置的面線,氣壓驅(qū)動(dòng)件連接吸料管,氣壓驅(qū)動(dòng)件用于帶動(dòng)吸料管沿靠近或遠(yuǎn)離面線殘留位置的方向運(yùn)動(dòng);負(fù)壓發(fā)生器與吸...
          • 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N搖晃音樂罐,包括底罐、連接件、搖晃罐和發(fā)聲件;連接件的一端與底罐連接;搖晃罐與連接件的另一端連接,且搖晃罐可相對(duì)于底罐晃動(dòng);發(fā)聲件包括控制器、振動(dòng)感應(yīng)器、發(fā)聲喇叭,控制器設(shè)于搖晃罐內(nèi),振動(dòng)感應(yīng)器和發(fā)聲喇叭分別集成于控制器。本申...
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