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          微觀裝置的制造及其處理技術
          • 一種MEMS器件,屬于電子技術領域,可應用于手機、智能家居、物聯網(Internet of things,IoT)、自動駕駛等領域。該MEMS器件包括管殼、底板和第一慣性組件。第一慣性組件位于底板與管殼形成的封裝空間內。底板面向封裝空間的表...
          • 本申請實施例提供一種微鏡芯片封裝結構、激光設備和汽車。涉及微機電技術領域。主要用于提供一種能夠抑制微鏡芯片振動幅度的微鏡芯片封裝結構。該微鏡芯片封裝結構包括微鏡芯片、堆疊的第一襯底和第二襯底;微鏡芯片設置在第一襯底的背離第二襯底的一側;微鏡...
          • 本發明涉及一種用于傳感器設備或麥克風設備的微機械構件,其具有:襯底;框架結構,其布置在襯底表面和/或至少一個中間層上;膜片,其跨越由框架結構至少部分地圍繞的內部體積,其中,內部體積以氣密的方式如此密封,使得膜片能夠借助存在于其膜片內側上的內...
          • 本發明屬于光學器件相關技術領域,并公開了一種具備定心性的雙軸疊層掃描鏡及其制備方法。該掃描鏡包括上層結構和下層結構,所述下層結構作為所述上層結構的載體并為所述上層結構提供搖擺的驅動力;所述上層結構包括反射鏡和對稱設置在所述鏡體側面的定心彈簧...
          • 本實用新型公開了一種半導體器件及掩模結構,應用于MEMS器件技術領域。本實用新型采用T形錨柱實現讀出電路晶圓和MEMS器件的電連接,對應形成該T形錨柱的接觸孔結構是上寬下窄的階梯形狀,該形狀的接觸孔結構的開口位置不存在底切結構,更容易在接觸...
          • 本發明涉及控制器件領域,提供一種MEMS控制器及MEMS器件。本發明的MEMS控制器包括至少一個控制單元以及封裝結構;控制單元包括錨定結構以及與錨定結構相對應的懸臂梁結構,錨定結構具有相對的底面和頂面,懸臂梁結構具有相對的第一端和第二端,懸...
          • 本公開實施例涉及一種柔性MEMS開關,其中,包括MEMS主體和位于所述MEMS主體外部的封裝體,所述封裝體包括第一柔性蓋板和第二柔性蓋板,所述第一柔性蓋板和所述第二柔性蓋板分別罩設于所述MEMS主體的相對的兩側,且所述第一柔性蓋板與所述ME...
          • 一種批量制備石墨島滑塊陣列的方法,該方法在制備石墨島滑塊陣列的過程中增加晶粒結構檢測步驟,并通過控制后續的刻蝕步驟,使滑塊內部有且僅有一個晶界面,當剪切這些滑塊時,它們將從唯一的晶界面滑開。采用該方法制備的滑塊陣列,具有統一的滑移面和高度,...
          • 本發明公開了一種蔬菜包裝用的氣調保鮮存儲箱,涉及氣調保鮮存儲箱技術領域。本發明包括箱體,所述箱體的內部貼合有四組存儲室,四組所述存儲室的一側均設置有節氣組件。本發明通過液壓桿帶動承接板沿著箱體的內壁進行垂直向上移動,使得存儲室和固定塊跟隨存...
          • 本實用新型屬于包裝箱技術領域,公開了一種用于精密儀器高度保護的運輸包裝箱,包括外箱和內箱,所述外箱內底部安裝有枕條,所述枕條上安裝有枕板,所述枕板和所述內箱底部之間安裝有若干支撐條,若干所述支撐條兩端均一并安裝有橫限位條,兩條所述橫限位條兩...
          • 本發明提供了一種柔性鈀薄膜氫氣傳感器及其制備方法,其從下往上依次設置柔性基底、氫敏傳感層和接觸連接層,接觸連接層與電阻測量單元連接;氫敏傳感層為具有錐形微納結構的鈀或鈀合金薄膜。本發明的錐形微納結構的鈀或鈀合金薄膜為柔性鈀薄膜氫氣傳感器提供...
          • 本實用新型提供的一種微型電化學三電極測試芯片,包括有金屬電極層的襯底;所述襯底的參比電極層上設置有陣列式位點,所述位點區域暴露出工作電極層以及對電極層;所述參比電極層上設置有第一絕緣層,所述第一絕緣層上開設有多個通孔,多個所述通孔分別與工作...
          • 本發明公開了一種海運用防鹽霧包裝箱,屬于包裝箱技術領域。本發明包括第一箱體和設置在第一箱體內部的第二箱體,第二箱體內放置待運輸產品。第一箱體包括第一頂板、第一底板和多塊第一側板,第一頂板、第一底板和多塊第一側板圍接形成封閉箱體。第一側板上沿...
          • 本公開提供了一種抽氣裝置,抽氣裝置包括:吸盤與真空泵,吸盤包括柔性件和基座,沿吸盤的厚度方向,基座上設有貫穿的氣孔,柔性件的吸附面上設有第一凸環、第二凸環和第三凸環,第二凸環圍繞第一凸環,第三凸環圍繞第二凸環;在厚度方向上,第二凸環凸出于第...
          • 本申請實施例提供一種微納層結構的制作方法、加工裝置以及電子器件,制作方法包括提供掩膜件,掩膜件包括第一區域和第二區域,第一區域大于第二區域的磁場強度;提供基板,基板包括基體以及原膠層,原膠層包括膠體和磁性粒子;將掩膜件與基板相對,且所述掩膜...
          • 本發明公開一種微結構制備設備及微結構制備方法,微結構制備方法包括:提供裝有顆粒懸浮液的容器以及具有親水界面的基材;將提供好的基材至少部分置放于所述容器中的顆粒懸浮液中;對所述容器中的顆粒懸浮液進行蒸發,以將所述顆粒懸浮液中的懸浮顆粒沉積在所...
          • 本發明公開了一種大深寬比陷光微結構的制作方法,針對大尺寸、大深寬比陷光微結構難以大面積、高質量、高效率低成本成型的問題,發明了大深寬比陷光微結構紫外光固化壓印成型方法,探究大尺寸、大深寬比陷光微結構壓印時難以充型與脫模問題,提出了大深寬比陷...
          • 提高作業性,并且可靠地進行捆包。捆包結構,包括:一對捆包材料(2、3),具有能夠與作為捆包對象的電子設備的多個面抵接的抵接面(2A、2B、2C、2D);連結部(4),連結一對捆包材料(2、3);以及圓角部(2E),分別設置在一對捆包材料(2...
          • 本實用新型涉及縫紉技術領域,公開了一種縫紉平車的線頭收集裝置,包括機體,所述機體的內部固定連接有收集箱,所述收集箱的內部設置有處理箱,所述處理箱的內部設置有風機,所述機體的內部開設有滑道,所述滑道的內部滑動連接有滑塊,所述滑道的內頂壁固定連...
          • 本申請公開了一種吸線裝置和吸線方法,涉及縫紉機技術領域,吸線裝置包括吸料管、氣壓驅動件、負壓發生器和氣源組件。吸料管用于吸取面線殘留位置的面線,氣壓驅動件連接吸料管,氣壓驅動件用于帶動吸料管沿靠近或遠離面線殘留位置的方向運動;負壓發生器與吸...
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