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          攝影電影;光學設備的制造及其處理,應用技術
          • 本申請公開了一種基于超表面的太赫茲計算全息圖像的分析方法及其系統,基于超表面的太赫茲計算全息圖像的分析方法包括以下步驟:基于原始圖像,通過傳輸調控形成第一全息圖像;基于原始圖像,通過幾何相位調控形成第二全息圖像;基于原始圖像,通過傳輸調控與...
          • 本發明涉及LDI曝光機對位精度技術領域,具體公開了一種基于多模態形變場分析的LDI曝光機光路變形監測方法,包括:獲取基板多模態監測數據,其中,所述基板多模態監測數據包括基板基準點陣列數據、復合標定圖案、近紅外圖像、光柵溫度場分布數據和振動頻...
          • 本申請提供優化OPC計算收斂速度方法、裝置、介質、程序產品及終端,通過識別密集圖形區域,在該區域內選定特征區域,首先對特征區域內的基本單元進行迭代計算至收斂,獲得初步優化參數,并將該參數推廣應用于整個特征區域。隨后,以初步優化參數為起點,對...
          • 本申請涉及光刻機控制技術領域,尤其涉及一種半導體光刻設備的校準方法及校準系統。其中,校準方法包括以下步驟:在柔性襯底的背面投影光柵校準圖案,采集得到襯底背面圖像;通過相位解包裹算法確定所述襯底背面圖像上各個像素點的深度值;獲取柔性襯底正面的...
          • 本發明提供了一種感光性樹脂組合物、濾光片及應用。該感光性樹脂組合物包括:光聚合性化合物、具有肟酯類光引發劑和接枝有硅烷基側鏈的堿可溶性樹脂,其中,接枝有硅烷基側鏈的堿可溶性樹脂的重均分子量為5000~30000,酸值為50~200mgKOH...
          • 帶抖動修正功能的光學單元具有:第一擺動支撐機構(6),其以沿著反射面(30)的第一軸為中心可擺動地支撐反射部件(3);中間可動體(4),其經由第一擺動支撐機構支撐反射部件;第一擺動驅動機構(11);第二擺動支撐機構(7),其以第二軸為中心可...
          • 本申請實施例涉及投影儀技術領域,公開了一種光機和投影儀,該光機包括:光源組件,光源組件包括前菲鏡和后菲鏡;鏡頭組件,用于折射從光源組件處射入的光線;前菲鏡設于鏡頭組件和后菲鏡之間;優選地,前菲鏡和后菲鏡之間形成有通風通道,光機還包括:殼體,...
          • 本實用新型公開了一種改善鏡筒通光孔成型雜光的結構,涉及通光孔成型領域,包括鏡筒、第一遮光鏡片、第二遮光鏡片和第三遮光鏡片,所述第二遮光鏡片固定設置于第一光學鏡和左側第二光學鏡之間,所述第三遮光鏡片固定設置于右側兩個第二光學鏡之間。本實用新型...
          • 一種OPC模型及其建立方法和系統、OPC方法、設備及存儲介質,建立方法包括:提供測試圖形;根據測試圖形獲得測試光罩;對測試光罩進行實際曝光,獲得實際曝光圖形;利用初始光學鄰近修正模型對測試圖形進行模擬曝光,獲得模擬曝光圖形,模擬曝光包括:對...
          • 本申請公開了一種投影設備及投影屏幕,屬于投影技術領域。該投影設備包括:光學引擎和投影屏幕,光學引擎用于出射光束,投影屏幕包括光學膜片、可卷曲基板和控制機構;光學膜片粘接在可卷曲基板上;可卷曲基板上遠離光學膜片的一側設置有加多個加強筋,每個加...
          • 本發明涉及一種照明系統,包括第一光源裝置用以提供第一、第二、第三光束以及第一補償光束。第二光源裝置用以提供第四、第五、第六光束以及第二補償光束。第一極化元件配置于第一光束以及第一補償光束的傳遞路徑上。第二極化元件配置于第四光束以及第二補償光...
          • 傳感器模塊具備:殼體,其沿第1方向延伸且具有筒形狀;芯構件,其配置在所述殼體內,沿第1方向延伸且具有第1外周面;以及中間層,其配置在殼體與芯構件之間,沿第1方向延伸且具有第2外周面,中間層與殼體接觸,中間層包含傳感器和第1構件,傳感器固定于...
          • 本申請公開了一種實現高光效高色域投影的光機結構,其特征在于,包括第一光源、第二光源、第三光源、第一準直組件、第二準直組件、第三準直組件、第一黑白屏、第二黑白屏、第三黑白屏、第一熒光粉片、第二熒光粉片、合光組件和投影鏡頭,第一光源、第二光源和...
          • 本申請公開了一種照明系統和激光投影設備,屬于激光技術領域。照明系統包括照明組件和鏡頭組件;照明組件包括沿照明組件的光路方向依次設置的透鏡組件、反向全內反射棱鏡和光閥,透鏡組件將接收到的光束導向反向全內反射棱鏡,并由反向全內反射棱鏡輸出至光閥...
          • 本申請涉及半導體設備技術領域,公開了一種固定裝置和半導體設備。本申請實施例的固定裝置,包括夾持組件,夾持組件用于夾持掩模版或晶圓;支撐組件,支撐組件用于沿第一方向支撐掩模版或晶圓,以及用于調節掩模版或晶圓與第一平面之間的夾角,其中,第一平面...
          • 本實用新型公開了一種柔性暖杯墊,包括加熱件、導熱件和底座,所述加熱件、導熱件以及底座均為柔性結構,所述加熱件容納于導熱件以及底座之間,所述導熱件與底座之間相互嵌入固定。本實用新型的結構設計合理,具有如下的有益效果:暖杯墊中的加熱件、導熱件以...
          • 本發明公開了一種光刻機對準控制方法、裝置、設備及介質,該方法包括:分別對光刻機的硅片載物臺和光罩版載物臺對應的任務列表進行任務初始化,確定第一任務列表和第二任務列表;并行執行第一任務列表中的硅片上片任務和第二任務列表中的光罩版上版任務;基于...
          • 本發明提供一種提升光學鄰近效應修正處理效率的方法,提供原始版圖,獲取原始版圖中的錯誤標記圖形;形成覆蓋每個錯誤標記圖形的第一區域圖形,第一區域圖形為覆蓋每個錯誤標記圖圖形的區域,第一區域圖形與錯誤標記圖形間的位置差小于或等于第一設計值;放大...
          • 公開了一種驅動組件和可變焦攝像模組,其中,所述驅動組件中用于引導載體移動的引導裝置由特殊材料制成以與磁吸構件相配合產生使得所述引導裝置被定位地保持于預設位置的磁吸作用力,這樣所述引導裝置能夠在平穩地引導鏡頭載體的移動。
          • 本發明公開一種紫外單倍率投影曝光光刻鏡頭結構,包括觀察鏡筒、旋轉件、伸縮筒及傳動結構,所述觀察鏡筒形成有沿第一方向貫通設置的第一腔體,所述旋轉件沿第二方向所處軸線轉動設置于所述觀察鏡筒,且所述旋轉件具有沿徑向呈延展設置的旋轉驅動部,所述伸縮...
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